Как правильно сушить пластины (без пыли)
Если вы работали над производством сенсоров типа MEMS, то знаете эту проблему: одна маленькая частичка пыли на поверхности пластины может привести к тому, что вся партия будет бесполезной. Это очень раздражает. Чаще всего виновником является сам нагревательный элемент. Старые металлические нагреватели часто трескаются или выделяют вредные вещества именно в тот момент, когда они должны быть чистыми.
Поэтому мы используем инфракрасные лампы из высокочистого синтетического кварца. Они не трескаются, не выделяют частиц, и благодаря этому пластины остаются целыми.
Почему кварц так эффективен
Высокочистый кремний способен выдерживать сильные тепловые нагрузки. Его поверхность не трескается даже при сильных перепадах температур. Но настоящее преимущество кварца заключается в том, как он нагревает поверхность пластины. Инфракрасное излучение попадает прямо на поверхность пластины. Не нужно полагаться на горячий воздух для удаления влаги – это хорошо, ведь воздух служит переносчиком пыли.
Мы также используем галогенную систему внутри лампы. Она предотвращает испарение нити нагревателя, что делает внутреннюю часть стекла прозрачной и увеличивает срок службы лампы. Таким образом, тепло распределяется равномерно по всей поверхности пластины.
Чего стоит ожидать
Эти лампы имеют компактные размеры, поэтому их можно использовать в тесных пространствах. Мы можем регулировать их длину и мощность под потребности вашей камеры.
Но будьте осторожны с источником питания. Лампы с высокой мощностью требуют большого количества энергии. Если вы используете множество таких ламп, убедитесь, что ваша электросеть способна выдерживать такую нагрузку. Вы не хотите, чтобы автоматические выключатели отключались каждый раз, когда мощность увеличивается.
Также используйте контроллер PID. Если температура превысит заданный уровень, это может привести к деформации тонких мембран MEMS. Это ошибка, которую уже нельзя исправить.
Применение на практике
В конечном итоге вам нужна сухая, стерильная поверхность пластины. Эти лампы помогают достичь этой цели. Благодаря быстрому нагреву пластины, они проводят в фазе сушки меньше времени. Это значит, что будет меньше точек с влагой и меньше химических остатков, о которых нужно беспокоиться.
Если вы хотите обновить старую систему, эти лампы легко заменяют старые. Есть только один совет: будьте аккуратны с креплениями лампы. Не слишком сильно сжимайте стекло. Если будет слишком большое механическое напряжение, лампа может треснуть при нагревании.