Fabricação de biossensores com lâmpada infravermelha

Fri, 26 Jun 2026 04:31:49 +0800

Na fábrica de produção, os wafers de biossensores dependem inteiramente da repetibilidade térmica para funcionarem corretamente. Uma variação de 30 m°C durante o processo de aquecimento do fotoresista pode comprometer o controle da espessura das linhas, e a geração de partículas durante esse processo pode causar uma redução significativa na produtividade. Criamos o sistema de lâmpadas infravermelhas justamente para eliminar essa incerteza.

O que realmente importa Usamos emissores de ondas curtas em infravermelho, com ótica de quartzo, de modo que o calor seja transferido diretamente para o wafer – de forma rápida, eficiente e sem superaquecimento. Isso garante uma uniformidade no wafer de ±0,1°C em toda a área ativa. Assim, tanto o processo de aquecimento suave quanto o processo de aquecimento intenso resultam no mesmo perfil, lote após lote. A ferramenta funciona 24/7, sem interrupções, e permanece livre de partículas – sendo totalmente compatível com ambientes limpos de classe 1–100.

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