Lâmpada de cura BCB (Benzociclobuteno)

Tue, 02 Jun 2026 05:48:51 +0800

Na linha de produção, quando o perfil térmico em uma camada de BCB deriva, não ocorre uma parada abrupta. O que acontece é uma perda gradual de rendimento—tensão residual e aderência que só aparecem horas depois, durante o teste. Construímos a lâmpada de cura de BCB para eliminar essa deriva na origem. Em litografia, encapsulamento e limpeza, a temperatura não é uma suposição. É uma variável do processo que você precisa controlar.

O que importa na prática
A lâmpada combina um emissor de halogênio/quartz de onda curta com refletores projetados, para que a energia atinja a pilha de BCB com intensidade e direção adequadas. Na zona ativa, a uniformidade a nível de wafer mantém-se em ±0,1°C, e a repetibilidade de ciclo a ciclo é rastreável. A cabeça da lâmpada é compatível com salas limpas Classe 1–100, com materiais e acabamentos que eliminam a geração de partículas. A saída permanece estável por mais de 5.000 horas, a deriva de intensidade fica abaixo de 5% e o perfil térmico se repete do primeiro ao centésimo lote.

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Lâmpada de cura BCB (Benzociclobuteno)