Grzałka podtrzymująca do zdejmowania fotopozaprawy

Thu, 02 Jul 2026 08:05:38 +0800

Na linii produkcji komora do usuwania fotorezystu pozostaje nieaktywna, dopóki nie osiągnie odpowiedniej temperatury. Jeśli grzejnik pomocniczy zacznie pracować nierównomiernie, powstają osady, a następna warstwa nie przywiera tak dobrze, jak powinna. Potrzebny jest system kontrolowania temperatury, który będzie utrzymywać ustaloną wartość temperatury podczas każdego procesu obróbki.

Co naprawdę jest ważne Stworzyliśmy grzejnik pomocniczy na bazie emiterów kwarcowych emitujących krótkofalowe promieniowanie podczerwone. Dzięki temu grzejnik reaguje szybko, co umożliwia precyzyjną kontrolę temperatury. Jego dokładność wynosi ±0,1°C, więc profile temperaturowe pozostają w normie na całym obszarze komory. Urządzenie może być używane w pomieszczeniach klasy 1–100, a my sprawdzamy brak jakichkolwiek cząstek dzięki monitorowaniu na miejscu. W praktyce urządzenie może pracować 24/7 – jego trwałość wynosi ponad 5 000 godzin, a odchylenia temperatury są poniżej 5%. Urządzenie może być zasilane napięciem 208–240 V, ma kompaktową budowę, co ułatwia jego montaż, a także posiada standardowe interfejsy łączące go z komorą.

Trwały piec do wypalania fotorezystu

Wed, 03 Jun 2026 12:09:07 +0800

Na podłodze litograficznej, miękki wypiek, który przesunie się nawet o 0,2°C, wystarczy, by spowodować przesunięcie krytycznego wymiaru oraz zwiększyć chropowatość krawędzi linii — i nagle masz dużo odpadów. Wypiek to nie tylko rozgrzewka. To budżet termiczny, który utrwala profil fotorezystu przed naświetlaniem. To jest rzeczywistość, dla której zaprojektowaliśmy nasze grzejniki do wypieku fotorezystu: jednorodność i powtarzalność temperatury mające znaczenie na poziomie nanometrów, a nie tylko stopni.

Co faktycznie ma znaczenie, z technicznego punktu widzenia
Utrzymujemy jednorodność temperatury na poziomie ±0,1°C w skali wafla na powierzchni wypieku, dzięki czemu profile miękkiego i twardego wypieku pozostają stabilne, partia po partii. Konstrukcja jest gotowa do pracy w cleanroomie klasy 1–100, wykorzystując materiały o niskiej emisji gazów oraz wykończenie powierzchni minimalizujące generowanie cząstek do niemal zera. Sterowanie rampą jest powtarzalne, dzięki czemu ta sama receptura daje ten sam efekt dla fotorezystu za każdym razem. Zbudowaliśmy to na potrzeby pracy 24/7 w fabryce — komponenty są ocenione pod kątem wysokich cykli obciążeń termicznych, a strefa grzewcza wytrzymuje powtarzające się czyszczenia na mokro bez utraty kalibracji.

Fotorezyst on Professional IR Heating Solutions

Grzałka podtrzymująca do zdejmowania fotopozaprawy

Trwały piec do wypalania fotorezystu