Sensor on Professional IR Heating Solutions

Temperatuursensor voor wafertool

Fri, 24 Jul 2026 11:16:44 +0800

Hoe je je klasse-100-reinruimte echt schoon houdt
In de wereld van chipfabricage is zelfs één stofdeeltje een groot probleem – het kan namelijk leiden tot schade aan een hele lading chips. Dat is erg stressvol. De meeste verwarmings-elementen zijn in zulke omstandigheden een nachtmerrie: ze geven gassen af of lossen deeltjes af op het moment dat dat juist niet wil gebeuren.

Daarom gebruiken we IR-lampen gemaakt van hoogpuur synthetisch kwarts. Zulke lampen veroorzaken geen problemen.

Het voordeel van kwarts
We gebruiken gesmolten silica, die hitte kan verdragen zonder te kristalliseren. Als je goedkope glas of lage kwaliteit kwarts gebruikt, gaan de buizen beschadigen wanneer ze worden opgewarmd en afgekoeld. Dat mag natuurlijk niet gebeuren. Onze buizen blijven glad. Omdat het infrarode licht rechtstreeks op het substraat terechtkomt, zijn er geen onzuiverheden die op het oppervlak van de chip terechtkomen.

Slimme sensorenverpakkking infrarood

Tue, 21 Jul 2026 09:40:51 +0800

Stop de scherven: houd je wafers schoon wanneer IR-lampen kapotgaan
Als je ooit hebt gewerkt met de verpakking van halfgeleiders of sensoren, weet je wat er gebeurt. Een IR-lamp met hoge belasting gaat plotseling kapot. In een oogopslag is je productielijn niet meer in bedrijf – het wordt een chaoszone.

Het probleem is niet alleen dat de warmte ophoudt te worden geproduceerd. Er vallen ook glasfragmenten en chemische stoffen op je wafers terecht. Eén kapotte lamp kan al je productie in seconden tijd vernietigen. Het is een nachtmerrie die je echt niet wilt meemaken.

Precisie IR sensor voor wafers

Wed, 15 Jul 2026 09:47:39 +0800

Waarom we elke IR-sensor op stresstesten

Wanneer je IR-sensoren maakt voor de siliciumwaferproductie, bestaat er zoiets als ‘voldoende’ niet. Een elektrische boog of een klein lek in de isolatie is geen technisch probleem – het is een nachtmerrie. Het kan ertoe leidden dat een hele batch siliciumwafers verloren gaat en dat je hele productielijn stil komt te liggen.

Daarom spelen we geen gokspelletjes. Elke sensor wordt eerst getest op zijn weerstand tegen hoge spanningen en op de kwaliteit van de isolatie, voordat deze zelfs maar de fabriek mag verlaten.

Heater voor de fabricage van waterstofsensores

Mon, 13 Jul 2026 14:31:00 +0800

Stop met het verhitten van je apparaat – verhit liever de sensoren.
Wanneer je waterstofsensoren maakt, is het laatste wat je wilt dat je hele productieruimte verandert in een oven.
Het gebruik van standaardverwarming is onhandig: de warmte verspreidt zich overal. Je verspilt dus veel energie om alleen maar de binnenwandjes van het apparaat op te warmen. Dat is inefficiënt en bovendien vervelend.
Daarom gebruiken we richtingsgebonden infraroodlampen. In plaats van de warmte in alle richtingen te sturen, richten we deze recht op het substraat. De sensor krijgt dan de benodigde warmte, terwijl het behuizingen koel blijven. Hierdoor duurt je apparatuur langer en loopt het risico op brandwonden door het aanraken van het behuizingen wordt verminderd.

Vervaardiging van biosensoren met infraroodlamp

Fri, 26 Jun 2026 04:31:51 +0800

Op de productielijn hangt het succes van biosensoren af van de thermische reproduceerbaarheid. Een temperatuurverschil van 30 m°C tijdens het bakken van de fotoresist kan de controle over de dikte van de lijnen verstoren. Bovendien kan het ontstaan van deeltjes tijdens het bakken de opbrengst drastisch verminderen. We hebben het IR-lampensysteem ontwikkeld om deze onzekerheden weg te nemen.

Wat echt belangrijk is
We gebruiken korte-golflengte NIR-emitters met kwartsoptica. Hierdoor wordt de warmte rechtstreeks in de wafer gebracht – snel, schoon en zonder ongewenste effecten. Hierdoor blijft de uniformiteit van de wafer binnen ±0,1°C over het actieve gebied. Dit betekent dat zowel het zachte als het harde bakproces dezelfde resultaten oplevert, lot na lot. Het apparaat kan 24/7 draaien, zonder onverwachte stilstanden. Bovendien blijft het apparaat vrij van deeltjes – dit maakt het zeer geschikt voor gebruik in schone kamers van klasse 1–100.