
Het behouden van veiligheid met infraroodverwarming bij chemisch reinigen
Wanneer je chemische reinigingsprocessen uitvoert in een半導体fabriek, heb je te maken met oplosmiddelen die, eerlijk gezegd, een nachtmerrie zijn als er een vonk ontstaat. In zulke omgevingen betekent een klein lek of een beschadigde draad niet alleen problemen voor het onderhoud – het kan zelfs tot een explosie leidden.
Daarom spelen we geen spelletjes met de bedrading. We gebruiken speciale Teflon (PTFE)-materialen en steriele afsluitingen in onze infraroodlampen, zodat de elektriciteit op de juiste plek blijft.
Waarom de materialen belangrijk zijn
Gewone bedrading kan de corrosieve chemicaliën niet weerstaan. De chemicaliën tasten de isolatie aan, waardoor de draden broos worden en er een groot risico op kortsluiting ontstaat.
We gebruiken Teflon-beklede draden, omdat deze geen last hebben van deze chemicaliën. Ze blijven sterk en houden de elektriciteit gevangen.
Maar we gaan nog een stap verder. We sluiten de verbindingspunten niet alleen af met Teflon, maar ook met hoge-temperatuurharzen. Hierdoor ontstaat er een soort ‘fort’ rondom de elektrische verbindingen. Als er een chemische vloeistof op de unit terechtkomt, komt deze in contact met een PTFE-barrière. De elektriciteit komt nooit in contact met deze vloeistof.
De compromissen (en hoe we dit oplossen)
Er is echter wel een nadeel: door deze beschermende lagen ontstaat er een kleine thermische barrière. Hierdoor wordt er wat minder infraroodwarmte gegenereerd vergeleken met een gewone kwartslamp.
Het is een compromis, maar het is een compromis dat moet worden gemaakt voor de veiligheid.
Om ervoor te zorgen dat de wafers op tijd de juiste temperatuur bereiken, verhogen we simpelweg de vermogensdichtheid van de lampen. Op deze manier krijg je de benodigde veiligheid zonder dat je de productietijd hoeft op te offeren. Eenvoudig toch?
Betrouwbare werking in de praktijk
We hebben ook rekening gehouden met wat er gebeurt tijdens de installatie. We hebben sterke ondersteuningspunten toegevoegd waar de Teflondraad de verwarmingsunit verlaat. Hierdoor voorkomen we dat de draden verslechteren of breken tijdens het routinematige onderhoud. Bovendien is het PTFLinfectie flexibel; je kunt het buigen zonder dat de geleider beschadigt raakt.
Als jouw systeem 24/7 in een agressieve omgeving moet werken, wil je natuurlijk niet dat de verwarmingsunit het zwakste punt in de keten wordt. Deze keuzes geven je meer zekerheid.