Cara Mengeringkan Wafer dengan Betul (Tanpa Debu)
Jika anda pernah bekerja dalam bidang pembuatan sensor MEMS, anda pasti tahu betapa menyakitkannya apabila ada sedikit saja debu yang jatuh pada wafer tersebut—seluruh kumpulan wafer tersebut akan menjadi tidak berguna. Ia sangat membingungkan. Biasanya, penyebabnya adalah komponen pemanas itu sendiri. Pemanas yang diperbuat daripada logam cenderung untuk terkelupas atau mengeluarkan gas pada saat ia sepatutnya berfungsi dengan baik.
Itulah sebabnya kami menggunakan lampu IR yang diperbuat daripada kuarsa sintetik berkualiti tinggi. Lampu ini tidak akan menghasilkan serpihan atau zarah-zarah yang boleh merosakkan wafer.
Mengapa Kuarsa Sangat Sesuai
Kuarsa berkualiti tinggi mampu menahan tekanan yang tinggi. Ia tidak akan retak walaupun terdedah kepada suhu yang ekstrem. Namun, kelebihan sebenar kuarsa ialah cara ia memanaskan wafer. Sinaran IR akan masuk terus ke permukaan wafer. Anda tidak perlu bergantung pada udara panas untuk menghilangkan kelembapan—ini bagus, kerana udara sebenarnya merupakan “pengangkut” debu.
Kami juga menggunakan sistem halogen di dalam tiub lampu tersebut. Ini membantu mengelakkan filamen daripada menguap, sekaligus memastikan bahagian dalam kristal tetap bersih dan lampu dapat berfungsi lebih lama. Dengan cara ini, suhu yang dihasilkan adalah stabil dan konsisten di seluruh permukaan wafer.
Beberapa Perkara yang Perlu Diperhatikan
Lampu-lampu ini sangat ringan, jadi ia boleh dipasang di ruang yang sempit. Kita juga boleh menyesuaikan panjang dan kuasa lampu agar sesuai dengan keperluan bilik pengeringan tersebut.
Namun, perlu berhati-hati ketika menggunakan sumber kuasa. Lampu IR yang berkuasa tinggi memerlukan arus elektrik yang banyak. Jika anda menggunakan banyak lampu sekaligus, pastikan panel elektrik anda mampu menanggung beban tersebut. Anda tidak mahu suis pemutus terputus setiap kali anda meningkatkan kuasa lampu tersebut.
Selain itu, gunakan pengawal PID. Jika suhu melebihi had yang ditetapkan, membran MEMS yang nipis boleh rosak, dan itu merupakan kesilapan yang mustahil untuk diperbaiki.
Penggunaan Secara Praktikal
Pada akhirnya, apa yang kita inginkan ialah permukaan wafer yang kering, cepat kering, dan bebas daripada debu. Lampu-lampu ini dapat membantu mencapai tujuan tersebut. Kerana proses pemanasan berlaku dengan cepat, wafer tidak perlu berada dalam fasa pengeringan untuk waktu yang lama. Ini bermakna kurangnya titik air dan sisa kimia yang perlu dibimbangkan.
Jika anda ingin mengganti sistem lama dengan sistem ini, ia sangat mudah dilakukan. Satu perkara penting: berhati-hati semasa memasang lampu tersebut. Jangan tekan kaca tersebut terlalu kuat. Jika terdapat tekanan mekanikal yang berlebihan, tiub lampu mungkin akan patah akibat pengembangan haba.