http://ir-heat-corp.com/ko/tags/mems/ Recent content in MEMS on Professional IR Heating Solutions Hugo ko Thu, 30 Jul 2026 11:48:59 +0800 http://ir-heat-corp.com/ko/posts/engineering-zero-contamination-heating-for-mems-wafer-drying-using-high-purity-quartz-ir-lamps/ Thu, 30 Jul 2026 11:48:59 +0800 http://ir-heat-corp.com/ko/posts/engineering-zero-contamination-heating-for-mems-wafer-drying-using-high-purity-quartz-ir-lamps/ <p><img src="http://ir-heat-corp.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터"></p> <p><strong>웨이퍼를 올바르게 건조시키는 방법 (먼지 없이)</strong> MEMS 센서 제작에 종사해본 사람이라면 잘 알고 있겠지만, 웨이퍼 위에 조금이라도 먼지가 묻으면 그 웨이퍼는 전부 폐기해야 합니다. 정말 짜증나는 일이죠. 대부분의 경우, 문제의 원인은 바로 가열 요소 자체입니다. 낡은 금속 코팅된 히터들은 깨끗해져야 할 때 오히려 부스러지거나 가스를 방출합니다.</p>