http://ir-heat-corp.com/ko/tags/%EB%8F%84%EC%BF%84/ Recent content in (도쿄 on Professional IR Heating Solutions Hugo ko Thu, 18 Jun 2026 03:59:11 +0800 http://ir-heat-corp.com/ko/posts/tel-tokyo-electron-heater-lamp/ Thu, 18 Jun 2026 03:59:11 +0800 http://ir-heat-corp.com/ko/posts/tel-tokyo-electron-heater-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-corp.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="TEL (Tokyo Electron) 히터 램프"></p> <p>리소그래피 공정에서 가열 과정은 단순히 온도를 조절하는 것이 아니라, 치수 제어와도 직결됩니다. 히팅 플레이트의 온도가 0.5°C만 변해도 치수 제어가 제대로 이루어지지 않습니다. 반복성도 불확실해집니다. TEL 히터 램프는 이러한 불확실성을 줄여줍니다.</p>