http://ir-heat-corp.com/ko/tags/%EB%8C%80%EB%A5%98/ Recent content in 대류 on Professional IR Heating Solutions Hugo ko Mon, 08 Jun 2026 04:52:25 +0800 http://ir-heat-corp.com/ko/posts/infrared-vs-convection-for-wafer-drying/ Mon, 08 Jun 2026 04:52:25 +0800 http://ir-heat-corp.com/ko/posts/infrared-vs-convection-for-wafer-drying/ <p><img src="http://ir-heat-corp.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="웨이퍼 건조를 위한 적외선 대 대류"></p> <p>세척 공정의 마지막 린스 후 웨이퍼가 나오는 모습을 관찰하라. 만약 건조 단계에서 열 예산이 충족되지 않으면 마이크로 풀링 현상이 발생하고, 이후의 포토레지스트 코팅이 이를 해결하려 시도한다. 이로 인해 에지 비드가 나타나며, 중요 치수가 변화한다. 결국 배치가 스크랩 대상이 될 수 있다.<br> 따라서 단순히 빠른 건조가 중요한 것이 아니라, 전체 표면에 걸쳐 열을 균일하고 깨끗하게 전달하는 것이 핵심이다.</p>