http://ir-heat-corp.com/ko/tags/%EA%B1%B4%EC%A1%B0/ Recent content in 건조 on Professional IR Heating Solutions Hugo ko Fri, 17 Jul 2026 05:30:37 +0800 http://ir-heat-corp.com/ko/posts/energy-audit-for-fab-drying/ Fri, 17 Jul 2026 05:30:37 +0800 http://ir-heat-corp.com/ko/posts/energy-audit-for-fab-drying/ <p><img src="http://ir-heat-corp.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="공장 건조 공정의 에너지 점검"></p> <p>램프 고장으로 인해 생산된 웨이퍼들이 망가지는 것을 걱정할 필요는 없습니다.<br> 고부하가 요구되는 웨이퍼 제조 공장에서는 램프 하나가 고장나면 정말 큰 문제가 됩니다. 석영관이 파손되면 유리 조각과 먼지가 웨이퍼 위로 떨어지게 되죠. 이는 즉각적인 재앙입니다. 전체 생산량이 망가지고, 엄청난 청소 작업도 해야 합니다.<br> 우리는 그런 상황을 방지하기 위해 특별한 적외선 램프를 만들었습니다.</p> http://ir-heat-corp.com/ko/posts/infrared-vs-convection-for-wafer-drying/ Mon, 08 Jun 2026 04:52:25 +0800 http://ir-heat-corp.com/ko/posts/infrared-vs-convection-for-wafer-drying/ <p><img src="http://ir-heat-corp.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="웨이퍼 건조를 위한 적외선 대 대류"></p> <p>세척 공정의 마지막 린스 후 웨이퍼가 나오는 모습을 관찰하라. 만약 건조 단계에서 열 예산이 충족되지 않으면 마이크로 풀링 현상이 발생하고, 이후의 포토레지스트 코팅이 이를 해결하려 시도한다. 이로 인해 에지 비드가 나타나며, 중요 치수가 변화한다. 결국 배치가 스크랩 대상이 될 수 있다.<br> 따라서 단순히 빠른 건조가 중요한 것이 아니라, 전체 표면에 걸쳐 열을 균일하고 깨끗하게 전달하는 것이 핵심이다.</p>