http://ir-heat-corp.com/ja/tags/%E8%80%90%E4%B9%85%E6%80%A7%E3%81%AE%E3%81%82%E3%82%8B/ Recent content in 耐久性のある on Professional IR Heating Solutions Hugo ja Wed, 03 Jun 2026 12:09:07 +0800 http://ir-heat-corp.com/ja/posts/durable-photoresist-bake-heater/ Wed, 03 Jun 2026 12:09:07 +0800 http://ir-heat-corp.com/ja/posts/durable-photoresist-bake-heater/ <p><img src="http://ir-heat-corp.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="耐久性フォトレジストベークヒーター"></p> <p>リソグラフィ工程のフロアでは、わずか0.2℃のソフトベークの温度変動が、クリティカルディメンションのバイアスを引き起こし、ラインエッジラフネスを悪化させる。結果として大量のスクラップが発生することになる。ベークは単なる<a href="https://goldisgood.com">加熱工程</a>ではない。露光前にフォトレジストのプロファイルを確定させる熱予算である。これが、我々がフォトレジストベークヒーターを<a href="https://o-yate.net">設計</a>した現実だ。温度の均一性と再現性が、単なる℃単位ではなくナノメートルレベルで重要となる。</p>