UHP 超高純度 ヒーターランプ

半導体の硬化処理におけるUHP赤外線ランプについて話しましょう。 ウェーハの処理やフォトレジストの加熱作業に携わったことがある人なら、ヒーターランプがその工程全体の核心であることを知っているはずです。最近では、「グリーン」や「無鉛」といった基準への取り組みが盛んになっています。しかし実際には、これ...