http://ir-heat-corp.com/ja/tags/%E5%AF%BE%E6%B5%81/ Recent content in 対流 on Professional IR Heating Solutions Hugo ja Mon, 08 Jun 2026 04:52:25 +0800 http://ir-heat-corp.com/ja/posts/infrared-vs-convection-for-wafer-drying/ Mon, 08 Jun 2026 04:52:25 +0800 http://ir-heat-corp.com/ja/posts/infrared-vs-convection-for-wafer-drying/ <p><img src="http://ir-heat-corp.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="ウェーハ乾燥における赤外線対対流法"></p> <p>ウォーファが最終すすぎから出てくる様子を観察してください。もし乾燥工程で熱予算を守れなければ、微小なプール形成が発生し、次のフォトレジスト塗布でそれが影響します。エッジビードが現れ、クリティカルディメンションがずれます。<a href="https://o-yate.net">突然</a>、ロットがスクラップを迎えることになります。 したがって、単に速く乾燥させるだけではなく、ウェハ全体に均一で清潔な熱を供給することが求められます。</p>