フォトレジスト剥離用サポートヒーター
製造現場においては、ストリッピングチャンバーは所定の温度に達するまで待機状態にあります。もしサポートヒーターの温度が不安定になると、残留物が残ってしまい、次に塗布される層がうまく密着しなくなります。そのため、繰り返し焼成を行う際にも、常に所定の温度を維持できる熱制御が必要です。
実際に重要なのは何...
赤外線加熱塗装
ショーウィンドウの前を通ると、そこにあるほこりの粒子が一つ一つ光っているのが見えます。高精度な実験室では、わずかな空気の流れでも敏感な機器の動作に影響を与えてしまいます。強制送風式のヒーティング装置は、粒子や湿気を発生させるため、フィルターの負担が増え、汚染のリスクも高くなります。一方、アートのよ...
タッチスクリーンヒーター
空気が清涼になり、快適さが不可欠になります。すぐに暖かさを得られ、均一に温まり、始動するために特別な操作は不要です。タッチスクリーン式のヒーターなら、その面倒な手続きが不要です。出力や設定、快適さの調整が瞬時に行え、暗闇の中でボタンを探す必要もありません。
重要なのは何か? 私たちは赤外線放射熱を...
Veeco MOCVDヒーターランプ
ファブ内では、ソフトベイクやハードベイクの際の熱変動が問題となり、これによってフォトレジストの特性が不安定になってしまいます。2℃もの温度変動があれば、重要な寸法の制御は不可能になります。その結果、エッチング工程でも問題が生じます。Veeco MOCVDヒーターランプは、このような不確実性を解消す...
電気ヒーターメーカー
パティオでの寒い夜も、楽しむ時間を短くする必要はありません。空気が冷たくなったときには、すぐに温かさを提供し、その状態を維持してくれるヒーターが欲しいのです。待ったり、手間をかけたりすることなく、すぐに温かさを得られるのです。私たちの赤外線ヒーターは、このようなニーズに応えて作られています。シーズ...
高出力電気ヒーター
倉庫では、温度が不均一になったり、エネルギーの無駄遣いが起こりやすいという問題があります。全体を温めると、空っぽの通路や天井付近も温める必要があり、結果としてコストがかさみます。私たちはその問題を解決するための装置を開発しました。
実際に重要なのは何か 当社の高性能電気ヒーターは、短波赤外線を利用...
バイオセンサー製造用赤外線ランプ
ファブの現場では、バイオセンサー用ウェーハの品質は、加熱処理の再現性にかかっています。フォトレジストを焼成する際に30m°Cもの温度変動があると、線幅の制御ができなくなります。また、過度な加熱によって粒子が発生すると、歩留まりが著しく低下します。そうした不確実性をなくすために、私たちはIRランプシ...
商用電気ヒーター
現場では、公差というのは単なる理論上の数値ではありません。それは、製品が正常に機能するか、廃棄されるかを分ける重要な基準です。私たちは、金メッキの厚みを0.1mmという狭い範囲内に保つようにしています。これは、書類作成のためではなく、赤外線ヒーターが一定の厚みのコーティングがあってこそ適切に機能す...
ウェーハレベルCSP チップスケールパッケージ ヒーター
製造現場では、焼成プロファイルに0.5°Cの変動があるだけで、線幅がナノメートル単位で変わってしまいます。また、粒子の発生によって多くの製品が破壊されてしまうこともあります。そのため、ウェーハレベルのCSPヒーターは、再現性の高い、安定した熱を迅速に供給できる必要があります。私たちは、このような要...
評価の高いエアヒーター
涼しい朝に高級なコーヒーショップに足を踏み入れると、すぐにその心地よさがわかります。瞬時に、静かな温かさが感じられます。この快適さは、見た目だけでなく、加熱性能も優れている赤外線ヒーターによって生まれています。ブランドイメージや顧客体験が重要な場所では、ヒーターのデザインも非常に重要です。シンプル...
高効率ウェーハ乾燥用ボール
ファブの現場では、許容誤差を追うのではなく、温度制御を重視します。フォトレジストを加熱する際に0.5℃でも温度がずれるだけで、良好な品質のウェーハが廃棄物になってしまいます。私たちは、各サイクルごとにウェーハ全体の温度を正確に保つために、このウェーハ乾燥装置を開発しました。
技術的に重要な点 私た...
TEL 東京エレクトロン ヒーターランプ
リソグラフィーの工程において、加熱処理というのは単なる温度調整だけではありません。それは、製品の寸法精度を保証するためのものです。もしホットプレートの温度が0.5℃でも変動すれば、製品の寸法精度が乱れてしまいます。再現性も保てなくなります。TELヒーターランプは、このような不確実性を排除するために...
犬用の家のヒーター
冬になると、犬小屋は冷たい空間に変わってしまいます。そうなると、犬は風の影響を直接感じ、また、飼い主も電気代の負担を強く感じます。一般的なヒーターでは、暖めるのに時間がかかり、部屋の温度が快適になった後もずっと高温の状態が続きます。一方、熱慣性が低い赤外線ヒーターは、すばやく温まり、必要な場所に熱...
デジタルサーモスタットヒーター
工場のフロアでは、快適さは特典ではなく、作業を進めるために必要です。空気が冷たくなると、集中力が低下し、手がこわばり、品質チェックが遅れます。当社は、商業スペース向けにデジタルサーモスタット赤外線ヒーターを実用的なツールとして設計しました:安定した熱、予測可能なエネルギー使用、そして寒さと戦うこと...
ウェーハ乾燥における赤外線対対流法
ウォーファが最終すすぎから出てくる様子を観察してください。もし乾燥工程で熱予算を守れなければ、微小なプール形成が発生し、次のフォトレジスト塗布でそれが影響します。エッジビードが現れ、クリティカルディメンションがずれます。突然、ロットがスクラップを迎えることになります。 したがって、単に速く乾燥させ...