ワイヤーの適切な乾燥方法（ほこりを出さずに）
MEMSセンサーの製造に従事したことがある人なら、その悩みはよく知っているでしょう。ワイヤー上にほんのわずかなほこりが付着するだけで、そのロット全体が廃棄処分になってしまいます。本当にイライラします。多くの場合、問題の原因はヒーター自体です。古い金属製のヒーターは、ちょうどきれいにしておく必要がある時に、剥がれたりガスを放出したりします。
そのため、私たちは高純度の合成石英製のIRランプを使用しています。これらのランプは剥がれることがありません。ほこりも、謎の粒子も、壊れたワイヤーも出ません。
なぜ石英が効果的なのか
高純度のシリカの特徴は、強い衝撃にも耐えられることです。極端な熱ショックを与えても割れることはありません。
しかし、真の魔法は加熱の仕方にあります。IR放射は直接ワイヤー表面に届きます。空気の流れに頼って水分を取り除く必要はありません。これは素晴らしいことです。なぜなら、空気は実質的にほこりを運ぶ手段だからです。
また、管内にはハロゲン循環装置があります。これによりフィラメントの蒸発を防ぎ、ガラス内部をクリアに保ち、ランプの寿命を延ばします。結果として、ワイヤー全体に均一で信頼性の高い熱が供給されます。
注意すべき点
これらのランプはコンパクトで、狭いスペースにも収まります。また、チャンバーの必要な電力密度に合わせて、長さやワット数を調整することができます。
しかし、電源については注意が必要です。高出力のIRランプは多くの電流を消費します。複数のランプを使用する場合は、電気系統がピーク負荷に耐えられるか確認してください。そうしないと、電源が切れてしまいます。
また、PIDコントローラーを必ず使用してください。目標温度を超えてしまうと、薄いMEMS膜が変形してしまう可能性があります。それは取り返しのつかない過ちです。
実際の利用例
結局のところ、重要なのは、迅速かつ完全に乾燥した表面を得ることです。これらのランプによって、それが実現します。加熱サイクルが非常に速いため、ワイヤーが乾燥状態にある時間が短くなります。つまり、水滴や化学残留物の心配も少なくなります。
古いシステムをアップグレードする場合、これらのランプは簡単に交換できます。ただし、取り付けブラケットには注意してください。ガラスを強く押し付けないでください。機械的なストレスが過大になると、熱で膨張した際に管が壊れてしまう可能性があります。