Lampada riscaldante Veeco MOCVD

Mon, 29 Jun 2026 06:34:40 +0800

Nelle linee di produzione, la variazione termica durante le fasi di cottura del fotoresist è una variabile che rende impossibile prevedere con precisione il comportamento del materiale stesso. Una variazione di 2°C può bastare per compromettere il controllo delle dimensioni critiche del prodotto; in tal caso, anche il processo di corrosione ne risente negativamente. Per eliminare questa incertezza, abbiamo progettato la lampada Veeco MOCVD.

Cosa è importante dal punto di vista tecnico
La lampada utilizza elementi alogenati a onde corte all’interno di un rivestimento in quarzo, il che permette un riscaldamento rapido e localizzato, con una uniformità della temperatura pari a ±0,1°C. Il sistema mantiene inoltre dei valori di temperatura stabili durante l’intera fase di cottura del fotoresist: dalla fase di eliminazione dei solventi fino a quella di consolidamento delle strutture formate dal fotoresist stesso. In questo modo si evita di superare i limiti termici consentiti.

Veeco on Professional IR Heating Solutions

Lampada riscaldante Veeco MOCVD