Riscaldatore di supporto per lo strappaggio del fotorestringente

Thu, 02 Jul 2026 08:05:38 +0800

Nella sala di lavorazione, la camera di strippaggio rimane inattiva fino a quando non raggiunge la temperatura desiderata. Se il riscaldatore di supporto inizia a funzionare in modo impreciso, si formano dei residui che impediscono alla successiva layer di aderire correttamente. È quindi necessario un controllo termico preciso, in modo da mantenere costante la temperatura desiderata, fase dopo fase, lote dopo lotto.

Quello che conta davvero Abbiamo progettato il riscaldatore per lo stripping del fotoresist utilizzando emettitori a infrarossi a lunghezza d’onda corta. Questi emettitori reagiscono rapidamente, permettendo così di controllare con precisione la temperatura. Il dispositivo garantisce una uniformità della temperatura di ±0,1°C su tutta la superficie del wafer; in questo modo, i parametri di essiccazione rimangono entro i limiti richiesti. Il dispositivo funziona in ambienti di classe 1–100, e verifichiamo l’assenza di particelle grazie a sistemi di monitoraggio in tempo reale. È inoltre progettato per funzionare 24/7, con un livello di affidabilità elevato: può funzionare per oltre 5.000 ore senza alcuna perdita di prestazioni. I requisiti tecnici includono una tensione di alimentazione compresa tra 208 e 240 V, dimensioni compatte per essere utilizzato anche in contesti di retrofit, e interfacce standard tra il quadrante e la camera di lavoro.

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