Riscaldatore per essiccazione dei wafer dei sensori MEMS

Thu, 30 Jul 2026 11:49:00 +0800

Come asciugare correttamente le wafer (senza polvere)
Se avete lavorato nella produzione di sensori MEMS, conoscete bene questo problema: anche una sola particella di polvere che si posa su una wafer può rendere l’intero lotto inutilizzabile. È frustrante. Spesso, la causa del problema è proprio l’elemento riscaldante stesso. Quegli elementi riscaldanti rivestiti di metallo tendono a perdere pezzi o a emettere gas proprio nel momento in cui è necessario che rimangano puliti.

Ecco perché preferiamo utilizzare lampade a infrarossi basate su quarzo sintetico ad alta purezza. Queste lampade non perdono mai pezzi, quindi non ci sono particelle sospese nell’aria e le wafer non vengono rovinate.

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Riscaldatore per essiccazione dei wafer dei sensori MEMS