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		<title>Fotoresist on Professional IR Heating Solutions</title>
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				<title>Resistenza di cottura per fotoresist durevole</title>
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				<description>&lt;p&gt;&lt;img src=&#34;http://ir-heat-corp.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png&#34; alt=&#34;Resistenza di cottura per fotoresist durevole&#34;&gt;&lt;/p&gt;&#xA;&lt;p&gt;Sulla litho floor, una soft bake che varia anche di soli 0,2°C è sufficiente a causare uno spostamento critico nelle dimensioni e ad aumentare la line-edge roughness—e improvvisamente si scarta una grande quantità di materiale. Il bake non è semplicemente un riscaldamento. Rappresenta il budget termico che fissa il profilo del photoresist prima dell’esposizione. Questa è la realtà per cui abbiamo progettato i nostri riscaldatori per il photoresist bake: uniformità e ripetibilità della temperatura che contano fino al nanometro, non solo ai gradi.&lt;/p&gt;</description>
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