Filamento di ricambio per lampada fab

Sun, 07 Jun 2026 03:34:54 +0800

On the fab floor, i processi di litografia e le fasi di bake dipendono in modo critico dal controllo termico. Un’uscita della lampada che devia compromette la uniformità delle dimensioni critiche (CD), e un filamento che si guasta ferma la linea di produzione. Il nostro filamento di ricambio è stato progettato per eliminare questa variabilità.

Ciò che conta realmente è la ripetibilità sotto carico. Il filamento è progettato per mantenere un’emissività stabile su profili a onde corte e medie, in modo che la potenza radiante resti costante durante soft bake e hard bake. L’uniformità a livello wafer si mantiene entro ±0.1°C, mentre l’involucro di quarzo e la geometria sono scelti per essere compatibili con le prese e i connettori OEM—può essere sostituito senza necessità di modifiche. In camere bianche Class 1–100, l’assemblaggio funziona senza generazione di particelle, mantenendo costanti i conteggi particellari durante i cicli di bake critici.

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Filamento di ricambio per lampada fab