Scaldatore per cottura TARC/BARC

Fri, 03 Jul 2026 08:10:21 +0800

Sul fondo litografico, anche un deviazione di mezzo grado durante il processo di cottura TARC/BARC è sufficiente per causare problemi nelle dimensioni critiche dei componenti, problemi che vengono rilevati soltanto in fase di controllo, ma ormai troppo tardi. Quello di cui si ha bisogno è un calore che agisca come parametro fisso, e non come un’altra variabile.

Ciò che conta, dal punto di vista tecnico
Abbiamo progettato questi riscaldatori TARC/BARC utilizzando elementi a infrarossi a breve lunghezza d’onda e una struttura termica basata sul quarzo. Il risultato è una uniformità della temperatura su tutta la superficie di cottura, entro ±0,1°C. La ripetibilità della temperatura rimane sempre entro questa stessa tolleranza, ciclo dopo ciclo; pertanto i parametri di cottura non cambiano rispetto alle specifiche previste. La zona di cottura è progettata per funzionare in ambienti di tipo Class 1–100, utilizzando materiali con bassa emissione di gas e sistemi di controllo delle particelle, al fine di ridurre al minimo gli effetti negativi sulla sensibilità del fotoresist.

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Scaldatore per cottura TARC/BARC