Fabbricazione di biosensori _con lampada a infrarossi

Fri, 26 Jun 2026 04:31:50 +0800

Nella fase di produzione dei biosensori, la qualità dei wafer dipende in modo cruciale dalla ripetibilità termica durante i processi di cottura. Una variazione di temperatura di 30 m°C durante la cottura del fotorest può compromettere il controllo della larghezza delle linee presenti sul wafer; inoltre, la formazione di particelle durante la cottura può ridurre drasticamente il tasso di produzione. Abbiamo quindi sviluppato un sistema a luce infrarossa per eliminare queste incertezze.

Quello che è davvero importante
Utilizziamo emitter a onde corte nel campo del NIR, abbinati a ottiche in quarzo: in questo modo il calore viene trasmesso direttamente al wafer, in modo rapido e preciso, senza alcun rischio di sovraccarico termico. Il risultato è una uniformità della temperatura entro ±0,1°C su tutta l’area attiva del wafer. Questo permette che sia i processi di cottura “morbidi” che quelli “duri” abbiano lo stesso effetto, lotto dopo lotto. La macchina può funzionare 24/7, senza interruzioni indesiderate, ed è completamente priva di particelle, essendo quindi compatibile con ambienti di tipo Class 1–100.

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Fabbricazione di biosensori _con lampada a infrarossi