Lampada di polimerizzazione BCB (Benzociclobutene)

Tue, 02 Jun 2026 05:48:51 +0800

Out on the line, quando il profilo termico su uno strato BCB devia, non si verifica un arresto netto. Si ha una perdita lenta di resa: stress residuo e adesione che si manifestano solo ore dopo, durante il test. Abbiamo progettato la lampada di polimerizzazione BCB per eliminare quella deriva alla radice. In litografia, packaging e pulizia, la temperatura non è un’ipotesi. È una variabile di processo che devi controllare.

Cosa conta sotto il cofano
La lampada combina un emettitore a onde corte alogeno/quarzo con riflettori progettati in modo da indirizzare l’energia sullo stack BCB con intensità e direzione corrette. Nella zona attiva, l’uniformità a livello wafer si mantiene entro ±0,1°C, e la ripetibilità da ciclo a ciclo è tracciabile. La testa lampada è compatibile con camere bianche Class 1–100, con materiali e finiture che azzerano la generazione di particelle. La potenza rimane stabile per oltre 5.000 ore, la deriva di intensità è inferiore al 5% e il profilo termico si ripete dal primo al centesimo lotto.

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Lampada di polimerizzazione BCB (Benzociclobutene)