Chauffage de cuisson TARC/BARC

Fri, 03 Jul 2026 08:10:20 +0800

Sur le sol en pierre, un décalage de demi-degré pendant le processus de cuisson TARC/BARC suffit pour perturber les dimensions critiques des wafers, ce qui entraîne des défauts que l’inspection ne peut détecter qu’en toute fin de processus. Ce dont on a besoin, c’est d’une chaleur qui se comporte comme un paramètre fixe, et non comme une variable supplémentaire.

Ce qui est important sur le plan technique Nous avons conçu ces chauffages TARC/BARC en utilisant des éléments infrarouges à courte longueur d’onde et un système thermique amélioré au quartz. Le résultat ? Une homogénéité de température sur toute la surface de cuisson, avec une tolérance de ±0,1 °C. La répétabilité de la température reste dans cette même fourchette, cycle après cycle. Ainsi, les profils de cuisson ne s’écartent pas des valeurs prévues. La zone de chauffe est conçue pour fonctionner dans des environnements de classe 1–100, en utilisant des matériaux à faible émission de gaz et un système de contrôle des particules qui permet de maintenir un niveau bas de particules là où le photorésiste est le plus sensible. L’interface est conçue pour correspondre aux normes standards, afin que l’intégration puisse se faire sans avoir à modifier l’équipement.

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