http://ir-heat-corp.com/fr/tags/support/ Recent content in Support on Professional IR Heating Solutions Hugo fr Thu, 02 Jul 2026 08:05:37 +0800 http://ir-heat-corp.com/fr/posts/photoresist-stripping-support-heater/ Thu, 02 Jul 2026 08:05:37 +0800 http://ir-heat-corp.com/fr/posts/photoresist-stripping-support-heater/ <p><img src="http://ir-heat-corp.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Chauffage de soutien au décollement du photorésistant"></p> <p>Dans la salle de traitement, la chambre de stripping reste inactive jusqu’à ce que la température souhaitée soit atteinte. Si le chauffage de soutien commence à dévier de sa valeur cible, des résidus se forment, et la prochaine couche ne s’attache pas correctement. Il est donc nécessaire d’avoir un contrôle thermique fiable, afin de maintenir la température désirée, étape après étape, lot après lot.</p> <p><strong>Ce qui est vraiment important</strong> Nous avons conçu le chauffage de soutien pour le stripping du photorésiste en utilisant des émetteurs à rayonnement infrarouge à courte longueur d’onde. Ces émetteurs réagissent rapidement, ce qui permet de garder un contrôle précis sur la température. L’uniformité de température atteint ±0,1°C au niveau de la wafer, ce qui garantit que les paramètres de cuisson restent conformes à celles prévues, quel que soit le positionnement de la wafer dans la chambre. Ce dispositif fonctionne dans des salles propres de classe 1–100. Nous vérifions également qu’il n’y a pas de particules générées, grâce à un système de surveillance en temps réel. En conditions réelles, ce dispositif fonctionne sans interruption, 24/7, avec une durée de fonctionnement supérieure à 5 000 heures, et une dé<a href="https://o-yate.com">viation</a> de température inférieure à 5 %. Les spécifications incluent une alimentation en 208–240 V, une taille compacte qui convient aux installations existantes, ainsi que des interfaces standards entre le quartz et la chambre de traitement.</p>