Cómo secar las obleas correctamente (sin polvo)
Si ha trabajado en la fabricación de sensores MEMS, sabrá cuál es el problema: una sola partícula de polvo que caiga sobre una oblea puede arruinar todo el lote. Es frustrante. La mayoría de las veces, el culpable es el propio elemento calefactor. Esos calentadores antiguos, revestidos de metal, tienden a desprendirse de sus componentes justo cuando se necesitan en estado limpio.
Por eso optamos por lámparas de infrarrojos hechas de cuarzo sintético de alta pureza. Estas lámparas no desprenden partículas ni causan daños a las obleas.
Por qué el cuarzo funciona tan bien
La clave está en que el sílice de alta pureza puede resistir grandes sobrecargas térmicas sin romperse. Pero lo realmente interesante es cómo calienta. La radiación infrarroja llega directamente a la superficie de la oblea. No se necesita aire caliente para eliminar la humedad; eso es genial, ya que el aire sirve como medio para transportar polvo.
También utilizamos un ciclo de halógenos dentro del tubo. Esto evita que el filamento se evapore, manteniendo así el interior del cristal claro y prolongando la vida útil de las lámparas. De esta manera, se logra un calentamiento uniforme en toda la superficie de la oblea.
Algunas cosas a tener en cuenta
Estas lámparas son compactas y pueden adaptarse a espacios reducidos. También podemos ajustar su longitud y potencia según las necesidades de la cámara.
Pero hay que tener cuidado con la fuente de alimentación. Las lámparas de infrarrojos de alta potencia requieren mucha corriente. Si conecta varias lámparas, asegúrese de que su panel eléctrico pueda soportar la carga máxima. No quiere que los interruptores se desconecten cada vez que aumente la potencia.
Además, utilice un controlador PID. Si la temperatura supera el valor deseado, existe el riesgo de que las membranas finas de los sensores se deformen, y eso es un error irreversible.
Uso en la práctica
Al final, lo que se desea es una superficie seca, rápida y estéril. Estas lámparas logran eso. Como los ciclos de calentamiento son muy rápidos, las obleas pasan menos tiempo en la fase de secado. Eso significa menos manchas de agua y menos residuos químicos de los que preocuparse.
Si está actualizando un sistema antiguo, estas lámparas son fáciles de instalar. Un consejo: tenga cuidado al montarlas. No apriete demasiado el vidrio. Si hay demasiada presión mecánica, el tubo podría romperse al expandirse con el calor.