http://ir-heat-corp.com/de/tags/tokio/ Recent content in (Tokio on Professional IR Heating Solutions Hugo de Thu, 18 Jun 2026 03:59:11 +0800 http://ir-heat-corp.com/de/posts/tel-tokyo-electron-heater-lamp/ Thu, 18 Jun 2026 03:59:11 +0800 http://ir-heat-corp.com/de/posts/tel-tokyo-electron-heater-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-corp.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="TEL (Tokyo Electron) Heizlampe"></p> <p>Auf der Lithografiefläche ist die Temperaturkontrolle nicht nur wichtig – sie ist auch eine Art „Versprechen“ bezüglich der Dimensionen der Bauteile. Wenn die Temperatur um 0,5 °C abweicht, geht die <a href="https://o-yate.com">genaue</a> Kontrolle der Dimensionen verloren. Die Wiederholgenauigkeit wird dadurch unzuverlässig. TEL-Heizlampen dienen dazu, diese Unsicherheiten aus dem thermischen Prozess herauszunehmen.</p> <p><strong>Was wirklich wichtig ist</strong> Wir verwenden Kurzwellinfrarot-Kvartz-Halogenemitter, die auf die TEL-Thermomodule abgestimmt sind. Dadurch entsteht eine schnelle Temperaturerhöhung bei gleichzeitig geringer thermischer Trägheit. Auf der Oberfläche der Wafer bleibt die Homogenität bei ±0,1 °C – somit bleiben sowohl die Profile für sanfte als auch für intensive Behandlungen in den vorgegebenen Grenzen, Schuss für Schuss.</p>