http://ir-heat-corp.com/de/tags/thermoelement/ Recent content in Thermoelement on Professional IR Heating Solutions Hugo de Tue, 14 Jul 2026 10:52:14 +0800 http://ir-heat-corp.com/de/posts/thermocouple-for-semiconductor-heater/ Tue, 14 Jul 2026 10:52:14 +0800 http://ir-heat-corp.com/de/posts/thermocouple-for-semiconductor-heater/ <p><img src="http://ir-heat-corp.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Thermoelement für Halbleiterheizer"></p> <p><strong>Korrekte Temperaturregelung mit Infrarotheizung</strong><br> Wenn wir tatsächlich die Kohlenstoffbilanz der Halbleiterfabriken verringern wollen, müssen wir auf die alten Widerstandsheizer verzichten. Der Übergang zu Infrarotlampsystemen ist die richtige Lösung – schließlich heizen diese direkt die Wafer auf, anstatt Energie dafür zu verschwenden, alles um sie herum zu erhitzen.</p> <p>Aber es gibt ein Problem: Die Infrarotheizung arbeitet sehr schnell. Wenn die Temperaturmessungen nicht mit dieser Geschwindigkeit mithalten können, werden die Substrate beschädigt.</p> <p><strong>Das Problem des Zeitverzugs</strong><br> Standardmäßige Thermoelemente sind oft zu langsam. In diesem Bereich bedeutet eine Verzögerung von drei Sekunden kein kleines Problem – sondern das Ende einer ganzen Charge an Wafern. Um dies zu beheben, verwenden wir hochempfindliche Sensoren mit geringer Wärmeleitfähigkeit. Dadurch kann der Sensor genau anzeigen, was auf der Oberfläche passiert – anstelle nur anzugeben, wie heiß der eigene Sensorkörper wird.</p>