http://ir-heat-corp.com/de/tags/tarc/barc/ Recent content in TARC/BARC on Professional IR Heating Solutions Hugo de Fri, 03 Jul 2026 08:10:20 +0800 http://ir-heat-corp.com/de/posts/tarc-barc-baking-heater/ Fri, 03 Jul 2026 08:10:20 +0800 http://ir-heat-corp.com/de/posts/tarc-barc-baking-heater/ <p><img src="http://ir-heat-corp.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="TARC/BARC Backofenheizer"></p> <p>Auf dem Lithografieboden reicht bereits eine Abweichung von einem halben Grad während des TARC/BARC-Brennvorgangs aus, um kritische Abmessungen sowie Defekte zu verursachen – Defekte, die erst zu spät durch Inspektionen entdeckt werden. Was benötigt wird, ist eine Temperatur, die sich wie ein fester Parameter verhält und <a href="https://goldisgood.com">keine</a> weitere Variable darstellt.</p> <p><strong>Was technisch wichtig ist:</strong> Wir haben diese TARC/BARC-Brennheizgeräte mit Kurzwellen-Infrarotkomponenten sowie einem Quarz-optimierten Wärme管理-System konstruiert. Das Ergebnis ist eine Homogenität auf Wafer-Ebene von ±0,1°C über die gesamte Brennfläche hinweg. Die Temperaturgenauigkeit bleibt dabei von Zyklus zu Zyklus konstant, sodass die Profile für den sanften und intensiven Brennvorgang nicht von den vorgegebenen Werten abweichen. Die Heizzonen sind so konzipiert, dass sie in Reinräumen der Klasse 1–100 verwendet werden können – dabei kommen Materialien mit geringer Ausgasung sowie ein Partikelkontrollsystem zum Einsatz, damit die Belastung dort minimiert wird, wo der Photoresist am empfindlichsten ist. Die Anschlüsse sind so gestaltet, dass sie mit den Standardbauteilen kompatibel sind – somit kann das Gerät ohne weitere Anpassungen integriert werden.</p>