Sensor on Professional IR Heating Solutions

Heizer zur Trocknung von MEMS Sensor Wafern

Thu, 30 Jul 2026 11:48:59 +0800

Wie man die Wafers richtig trocknet – ohne Staub
Wenn Sie schon einmal mit der Herstellung von MEMS-Sensoren gearbeitet haben, kennen Sie dieses Problem: Ein winziger Staubkorn auf der Wafer-Oberfläche reicht aus, damit die ganze Charge unbrauchbar wird. Das ist frustrierend. Meistens ist der Übeltäter der Heizelement selbst. Die alten, metallumhüllten Heizelemente neigen dazu, abzublättern oder Gase abzugeben – gerade dann, wenn sie eigentlich sauber sein sollten.

Deshalb verwenden wir hochreine synthetische Quarzlampen. Sie verbrennen nicht und hinterlassen keine Rückstände. Keine Splitter, keine mysteriösen Partikel – und keine beschädigten Wafers.

Temperatursensor für Wafer Werkzeuge

Fri, 24 Jul 2026 11:16:44 +0800

Ihren Reinraum auf ein hohes Niveau halten
In der Welt der Waferproduktion ist bereits ein einziger Staubkorn kein kleines Problem – es handelt sich dabei vielmehr um einen „Todesstoß“ für eine ganze Charge an Chips. Das ist äußerst belastend. Die meisten Heizelemente sind in solchen Umgebungen ein Albtraum – sie geben Gase ab oder geben Partikel ab, genau dann, wenn man das nicht möchte.

Deshalb verwenden wir hochreinen synthetischen Quarz-IR-Lampen. Diese verhalten sich nicht so.

Der Vorteil des Quarzes
Wir verwenden gefüllten Siliziumdioxid, der Hitze standhalten kann, ohne zu kristallisieren. Wenn man billiges Glas oder minderwertigen Quarz verwendet, beginnen die Lampen beim Erhitzen und Abkühlen zu bröckeln oder Staub abzugeben. Das darf auf keinen Fall passieren. Unsere Lampen bleiben glatt. Da die IR-Strahlung direkt auf die Substratoberfläche trifft, gibt es keinen Zwischenmittel, der Verunreinigungen auf die Waferoberfläche bringen könnte.

Intelligente Sensorverpackung für Infrarotstrahlung

Tue, 21 Jul 2026 09:40:51 +0800

Haltense die Scherben auf: Wie man seine Wafer sauber hält, wenn die Infrarotlampen versagen
Wenn Sie bereits in der Verarbeitung von Halbleitern oder Sensoren gearbeitet haben, kennen Sie dieses Problem nur zu gut. Eine Infrarotlampe mit hohem Leistungsbedarf geht plötzlich kaputt. In einem Augenblick ist Ihre Produktionslinie nicht mehr funktionsfähig – es entsteht eine Katastrophe.

Es geht nicht nur darum, dass die Wärmeversorgung ausfällt. Auch Glasscherben und chemische Rückstände können die Wafer beschädigen. Ein defekter Lampenkolben kann innerhalb von Sekunden die gesamte Produktion zerstören. Das ist wirklich ein Albtraum, den man unbedingt vermeiden möchte.

Präziser IR Sensor für Wafern

Wed, 15 Jul 2026 09:47:39 +0800

Warum wir jeden einzelnen IR-Sensor auf Belastbarkeit prüfen
Wenn man IR-Sensoren für die Siliziumwaferherstellung entwickelt, gibt es so etwas wie „ausreichend“ nicht. Ein elektrischer Bogen oder ein kleiner Isolationsfehler sind keine bloßen technischen Störungen – sie sind eine echte Katastrophe. Solche Fehler können ganze Chargen von Siliziumwafern zerstören und die gesamte Produktionslinie lahmlegen.

Deshalb spielen wir kein Glücksspiel. Jeder einzelne Sensor durchläuft vor dem Verlassen unseres Werks strenge Tests bezüglich der Spannungsbelastbarkeit sowie der Isolierfähigkeit.

Heizer zur Herstellung von Wasserstoffsensoren

Mon, 13 Jul 2026 14:31:00 +0800

Hören Sie auf, Ihre Maschine zu heizen – heizen Sie stattdessen den Sensor.
Wenn Sie Wasserstoffsensoren herstellen, möchten Sie auf keinen Fall, dass die gesamte Fertigungskammer zu einem Ofen wird.
Die herkömmliche Beheizung ist ungünstig: Die Wärme verteilt sich überall. Dadurch geht eine Menge Energie verloren – nur um die Innenwände der Maschine zu erwärmen. Das ist ineffizient und außerdem sehr lästig.
Deshalb verwenden wir Richtstrahlungs-Infrarotlampen. Anstatt die Wärme in alle Richtungen abzustrahlen, lenken wir sie direkt auf das Substrat. Der Sensor bekommt so die benötigte Wärme, während das Gehäuse kühl bleibt. Ihre Ausrüstung hält länger, und Ihr Team muss keine Gefahr laufen, sich durch Berührung des Gehäuses zu verbrennen.

Herstellung von Biosensoren mit Infrarotlampe

Fri, 26 Jun 2026 04:31:50 +0800

In der Fertigungsstätte hängt das Gelingen der Herstellung von Biosensoren von der thermischen Reproduzierbarkeit ab. Eine Abweichung von 30 °C während des Backvorgangs des Fotoleitmittels kann dazu führen, dass die Kontrolle über die Breite der Linien nicht mehr möglich ist. Zudem kann die Entstehung von Partikeln während des intensiven Backvorgangs dazu führen, dass die Ausbeute massiv sinkt. Wir haben daher ein IR-Lampensystem entwickelt, um diese Unsicherheiten auszuschließen.

Was wirklich wichtig ist
Wir verwenden Kurzwellen-NIR-Emitter mit Quarzoptiken – dadurch wird die Wärme direkt auf den Wafer übertragen. Dadurch entsteht eine gleichmäßige Temperaturverteilung auf dem Wafer innerhalb von ±0,1 °C im gesamten aktiven Bereich. Dadurch können sowohl der sanfte als auch der intensive Backvorgang immer wieder verwendet werden. Die Anlage arbeitet 24/7 ohne Unterbrechungen und bleibt außerdem partikelfrei – voll kompatibel mit Reinräumen der Klassen 1–100.