Mit Gold überzogene Infrarotlampe für Halbleiter

Sun, 19 Jul 2026 15:03:44 +0800

Wie wir verhindern, dass goldbeschichtete Infrarotlampen Ihre Wafern zerstören
In einer Halbleiterfabrik ist es ein Albtraum, wenn eine Lampe ausfällt. Es geht dabei nicht nur um die Stillstandszeiten. Wenn eine Quarztube unter hoher Belastung zerbricht, fliegen Scherben und Trümmer überall herum – dadurch wird die ganze Charge an Wafern verschmutzt. Das ist eine Katastrophe.

Deshalb bauen wir diese Lampen nicht einfach nur dazu, Dinge zu erhitzen – sondern dazu, intakt zu bleiben.

Die Magie der Goldbeschichtung
Die meisten Quarzlampen strahlen die Wärme in alle Richtungen ab. Wir machen das anders: Wir legen eine dünne Schicht Gold auf die Rückseite der Tube. Stellen Sie sich das wie einen Spiegel vor – die Infrarotenergie wird dadurch direkt auf die Wafer gelenkt. Da die Wärme konzentriert wird, kann man die benötigte Temperatur erreichen, ohne dass der Glühfaden überhitzt. Dadurch entsteht weniger Druck auf das Glas – es bricht somit viel seltener während der schnellen Erhitzungszyklen.

Infrarotlampe mit Goldreflektor

Fri, 17 Jul 2026 05:36:51 +0800

Warum wir auf die Verwendung von Warmluft zur Erwärmung zugunsten von Infrarot-Heizsystemen mit Goldreflektoren verzichten
In der Welt der Halbleiterfertigung ist Zeit nicht nur ein Maß – sie ist auch Geld. Jede zusätzliche Minute, die ein Bauteil in einem Prozesszyklus verbringt, kostet Geld und verringert somit den Gewinn.

Viele Betriebe setzen immer noch auf Warmluftzirkulation. Das funktioniert zwar, aber wir sehen immer mehr Unternehmen, die stattdessen Infrarot-Strahler mit Goldreflektoren verwenden, um die Prozesszeiten deutlich zu verkürzen.

Der eigentliche Unterschied bei der Erwärmung
Bei Warmluft muss man zunächst die Luft erhitzen, anschließend muss man warten, bis diese Luft die Wärme auf das Bauteil überträgt. Es gibt immer eine Verzögerung – es ist also langsam.

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Mit Gold überzogene Infrarotlampe für Halbleiter

Infrarotlampe mit Goldreflektor