Heizgerät zur Entfernung des Photoresists

Thu, 02 Jul 2026 08:05:37 +0800

Auf dem Produktionsboden steht die Strippkammer zunächst untätig da, bis sie die erforderliche Temperatur erreicht hat. Wenn der Heizkreis nicht richtig funktioniert, bleiben Rückstände zurück – und die nächste Schicht haftet nicht richtig. Es ist daher notwendig, eine genaue Temperaturregulierung zu haben, die bei jeder Behandlung gleichbleibt.

Was wirklich wichtig ist
Wir haben den Heizkreis für das Entfernen des Photoresists mit Kurzwellen-Infrarot-Emittern aus Quarz gebaut. Diese reagieren schnell und ermöglichen eine präzise Kontrolle der Temperatur. Die Genauigkeit liegt bei ±0,1 °C auf Waferebene – dadurch bleiben die Parameter während der gesamten Bearbeitung konstant. Der Heizkreis kann in Reinräumen der Klasse 1–100 eingesetzt werden. Wir überprüfen außerdem, ob keine Partikel entstehen, indem wir eine kontinuierliche Überwachung durchführen. Im Einsatz kann der Heizkreis 24/7 arbeiten – mit einer Lebensdauer von über 5.000 Stunden und einer Abweichung der Leistung von weniger als 5 %. Die Betriebsbedingungen umfassen eine Eingangsspannung von 208–240 V, eine kompakte Bauweise, die auch für Nachrüstungen geeignet ist, sowie Standardanschlüsse zwischen Quarz und Kammer.

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