BCB (Benzocyclobuten) Aushärtungslampe

Tue, 02 Jun 2026 05:48:51 +0800

Out on the line, wenn das thermische Profil auf einer BCB-Schicht abdriftet, gibt es keinen harten Stopp. Es entsteht ein langsames Ausschussleck – Restspannungen und Haftungsprobleme, die erst Stunden später im Test sichtbar werden. Wir haben die BCB-Härtungslampe entwickelt, um diese Abweichung an der Quelle zu eliminieren. In Lithografie, Packaging und Reinigung ist die Temperatur kein Schätzwert. Sie ist eine Prozessvariable, die Sie kontrollieren müssen.

Was unter der Haube zählt
Die Lampe kombiniert einen Halogen/Quarz-Kurzwellensender mit konstruierten Reflektoren, sodass die Energie den BCB-Stack gezielt und intensiv trifft. Über die aktive Zone hält die Wafer-Ebenen-Uniformität ±0,1°C, und die Wiederholgenauigkeit von Lauf zu Lauf ist rückverfolgbar. Der Lampenkopf ist für Reinraumklassen 1–100 kompatibel, mit Materialien und Oberflächen, die Partikelbildung auf null reduzieren. Die Ausgangsleistung bleibt über 5.000+ Stunden stabil, die Intensitätsdrift liegt unter 5 %, und das thermische Profil wiederholt sich vom ersten bis zum hundertsten Los.

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BCB (Benzocyclobuten) Aushärtungslampe