Sichere Bedingungen durch Infrarotheizung bei der chemischen Reinigung
Wenn man in einer Halbleiterfabrik Anlagen zur chemischen Reinigung betreibt, geht es um Lösungsmittel, die, ehrlich gesagt, ein echtes Problem darstellen, wenn ein Funke entsteht. In solchen Bereichen ist selbst ein kleines Leck oder ein gerissenes Kabel kein simples Wartungsproblem – es handelt sich dabei um eine potenzielle Explosion.
Deshalb spielen wir mit der Verkabelung nicht herum. Wir verwenden spezielles Teflon (PTFE) sowie hermetische Abdichtungen in unseren Infrarotlampen, damit die Elektrizität dort bleibt, wo sie hingehört.
Warum die Materialien wichtig sind
Herkömmliche Verkabelungen können den korrosiven Chemikaliendämpfen nicht standhalten. Sie zerstören die Isolierung, was dazu führt, dass die Drähte dünn und spröde werden – mit hohem Risiko von Kurzschlüssen.
Wir verwenden Drähte mit Teflonummantelung, denn diese sind gegenüber diesen Chemikalien unempfindlich. Sie bleiben stark und halten die Elektrizität fest. Doch wir gehen noch einen Schritt weiter: Wir umhüllen die Anschlussstellen außerdem mit Hochtemperaturharzen. Dadurch entsteht eine Art „Festung“ um die elektrischen Anschlüsse herum. Falls etwas Chemikalie auf die Anlage trifft, kommt sie nur auf die PTFE-Barriere – die Stromströme erreichen die Anschlüsse somit nicht.
Der Kompromiss – und wie wir ihn lösen
Nun, hier ist die ehrliche Antwort: Durch die Hinzufügung dieser Schutzschichten entsteht eine gewisse thermische Barriere. Dadurch geht ein wenig von der direkten Infrarotwärme verloren – im Vergleich zu einem völlig ungeschützten Quarztropf. Es handelt sich dabei um einen Kompromiss, aber einen, den man aus Gründen der Sicherheit in Kauf nehmen muss.
Um sicherzustellen, dass die Wafer weiterhin die gewünschte Temperatur erreichen, erhöhen wir einfach die Leistungsdichte der Lampen. So erhalten Sie die notwendige Sicherheit, ohne Ihren Produktionszeitraum zu beeinträchtigen. Einfach so.
Reale Zuverlässigkeit
Wir haben auch darüber nachgedacht, was während der Installation passieren könnte. Wir haben verstärkte Absicherungen an den Stellen eingebaut, an denen die Teflondrähte das Heizelement verlassen. Dadurch wird verhindert, dass die Drähte bei der routinemäßigen Wartung beschädigt werden. Zudem ist die PTFE-Ummantelung flexibel – man kann sie in engen Bereichen biegen, ohne dass der Draht darin beschädigt wird.
Wenn Ihr System 24/7 in einer aggressiven Umgebung arbeitet, möchte man doch nicht, dass das Heizelement der schwächste Punkt in der Kette ist. Diese Lösungen geben Ihnen einfach mehr Sicherheit.