http://ir-heat-corp.com/cs/tags/veeco/ Recent content in Veeco on Professional IR Heating Solutions Hugo cs Mon, 29 Jun 2026 06:34:40 +0800 http://ir-heat-corp.com/cs/posts/veeco-mocvd-heater-lamp/ Mon, 29 Jun 2026 06:34:40 +0800 http://ir-heat-corp.com/cs/posts/veeco-mocvd-heater-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-corp.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Veeco MOCVD topná lampa"></p> <p>V prostředí výroby představuje termální odchylka během měkkého a tvrdého zahřívání takovou proměnnou, která způsobuje, že <a href="https://goldisgood.com">hodnoty</a> <a href="https://henruite.com">parametr</a>ů fotorezisty jsou nepredvídatelné – jako náhodný házení mincí. Odchylka 2 °C znamená ztrátu kontroly nad kritickými rozměry – poté je i proces leptání ovlivněn těmito odchylkami. Vyvinuli jsme ohřívací lampu Veeco MOCVD právě proto, abychom tuto nejistotu eliminovali.</p> <p><strong>Co je důležité uvnitř lampy</strong><br> Lampa využívá krátkovlnné NIR halogenové prvky umístěné uvnitř křemíkového obalu – díky tomu dochází k rychlému a lokálnímu zahřevu s rovnoměrností na úrovni waferu v rozsahu ±0,1 °C. Udržuje stabilní hodnoty teploty po celou dobu zahřívání fotorezisty – od měkkého zahřívání za účelem odstranění rozpouštědel po tvrdé zahřívání za účelem zajistení lepší adheze a eliminace vznikajících vln. Zároveň se tak vyhýbá překročení <a href="https://o-yate.com">teplotn</a>ího limitu.</p>