http://ir-heat-corp.com/cs/tags/toky%C3%B3/ Recent content in (Tokyó on Professional IR Heating Solutions Hugo cs Thu, 18 Jun 2026 03:59:11 +0800 http://ir-heat-corp.com/cs/posts/tel-tokyo-electron-heater-lamp/ Thu, 18 Jun 2026 03:59:11 +0800 http://ir-heat-corp.com/cs/posts/tel-tokyo-electron-heater-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-corp.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="TEL (Tokyo Electron) topná lampa"></p> <p>Na litografické ploše není proces zahřívání pouze otázkou teploty – jedná se také o otázku dimenzní přesnosti. <a href="https://goldisgood.com">Pokud</a> se teplota na horké desce posune o 0,5 °C, kontrola kritických dimenzí selže. Opakovatelnost procesu se tak stává nespolehlivou. Ohřívací lampy TEL slouží právě k odstranění této nejistoty z termálního režimu.</p> <p><strong>Co je důležité v pozadí</strong> Vybíráme krátkovlnné infračervené (SWIR) kvarc-halogenní zdroje světla, které jsou vhodné pro použití s termálními moduly TEL. Výsledkem je rychlé zahřívání s nízkou termickou inertností. Na <a href="https://henruite.com">povrchu</a> waferu zůstává rovnoměrnost teploty na úrovni ±0,1 °C, takže profily měkkého a tvrdého zahřívání zůstávají v rozsahu specifikací po každém procesu.</p>