http://ir-heat-corp.com/cs/tags/mems/ Recent content in MEMS on Professional IR Heating Solutions Hugo cs Thu, 30 Jul 2026 11:49:00 +0800 http://ir-heat-corp.com/cs/posts/engineering-zero-contamination-heating-for-mems-wafer-drying-using-high-purity-quartz-ir-lamps/ Thu, 30 Jul 2026 11:49:00 +0800 http://ir-heat-corp.com/cs/posts/engineering-zero-contamination-heating-for-mems-wafer-drying-using-high-purity-quartz-ir-lamps/ <p><img src="http://ir-heat-corp.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Vyhřívač na sušení destiček senzorů MEMS"></p> <h1 id="správné-sušení-waferů-bez-prachu">Správné sušení waferů (bez prachu)</h1> <p>Pokud jste pracovali v výrobě senzorů typu MEMS, znáte ten noční můru: stačí jediná kapka prachu na waferu a celá zásilka je k ničemu. Je to frustrující. Většinou je viníkem samotný topný prvek. Ty staré topiče s kovovou obálkou mají tendenci se odlupovat nebo uvolňovat plyn právě v okamžiku, kdy je potřeba, aby zůstaly čisté.</p> <p>Proto používáme IR lampy vyrobené z vysoce čistého syntetického křemíku. Ty se prostě neolupují – žádné úlomky, žádné neznámé částice, žádné poškozené wafery.</p>