Správné sušení waferů (bez prachu)
Pokud jste pracovali v výrobě senzorů typu MEMS, znáte ten noční můru: stačí jediná kapka prachu na waferu a celá zásilka je k ničemu. Je to frustrující. Většinou je viníkem samotný topný prvek. Ty staré topiče s kovovou obálkou mají tendenci se odlupovat nebo uvolňovat plyn právě v okamžiku, kdy je potřeba, aby zůstaly čisté.
Proto používáme IR lampy vyrobené z vysoce čistého syntetického křemíku. Ty se prostě neolupují – žádné úlomky, žádné neznámé částice, žádné poškozené wafery.
Proč křemík skutečně funguje
Vysoce čistý křemík dokáže odolat velkým teplotním šokům – nepraskne. Ale opravdový „kouzelný“ efekt spočívá v způsobu ohřevu. Infračervené záření proniká přímo do povrchu waferu. Nemusíte spoléhat na proud horkého vzduchu, který by odstranil vlhkost – což je skvělé, protože vzduch je v podstatě prostředek pro přenos prachu.
V lampách také používáme halogenový cyklus – ten zabrání odpařování vlákna, díky čemuž zůstane vnitřek skleněné trubice čirý a lampy vydrží mnohem déle. Výsledkem je stálé a spolehlivé ohřevání celého waferu.
Na co si dát pozor
Tyto lampy jsou kompaktní – hodí se do úzkých prostor. Můžeme upravit jejich délku a výkon podle toho, jakou hustotu energie potřebuje váš prostor.
Ale musíte být opatrní s napájecím zdrojem. Vysoce výkonné IR lampy vyžadují velký proud elektřiny. Pokud používáte více takových lamp, ujistěte se, že váš elektrický panel dokáže zvládnout maximální zatížení. Nechcete přece pokaždé přerušovat provoz kvůli nadměrnému zatížení.
Používejte prosím také regulátor PID. Pokud překročíte požadovanou teplotu, riskujete deformaci tenkých membrán typu MEMS – což je chyba, kterou nelze napravit.
Praktické využití
V konečném důsledku chcete prostě povrch, který je suchý, rychle sušený a sterilní. Tyto lampy to umožňují. Díky rychlým cyklům ohřevu tráví wafery méně času v fázi sušení. To znamená méně vodních skvrn a méně chemických zbytků, o které je potřeba se starat.
Pokud aktualizujete starý systém, tyto lampy lze snadno nahradit. Jeden tip: buďte opatrní s montážními prvky – nestlačujte sklo příliš silně. Pokud je tam příliš velké mechanické napětí, trubice se může rozbít při nárůstu teploty.