আপনার ক্লিনরুমকে ১০০% পরিষ্কার রাখা কীভাবে সম্ভব?
ওয়েফার উৎপাদনের ক্ষেত্রে, একটি ছোট্ট ধূলিকণাও কোনো সমস্যা নয়—বরং এটা পুরো চিপ সেটের জন্য মৃত্যুদণ্ড হয়ে দাঁড়ায়। এটা খুবই ঝুঁকিপূর্ণ। এই ধরনের পরিবেশে বেশিরভাগ হিটিং এলিমেন্টই সমস্যা সৃষ্টি করে; কারণ ঠান্ডা বা গরম হওয়ার সময় এগুলো থেকে ধূলিকণা বেরিয়ে আসে।
এজন্যই আমরা উচ্চ-ঘনত্বের সিন্থেটিক কোয়ার্টজ আইআর ল্যাম্প ব্যবহার করি। এগুলো এই ধরনের সমস্যা সৃষ্টি করে না।
কোয়ার্টজের বৈশিষ্ট্যসমূহ
আমরা ফিউজড সিলিকা ব্যবহার করি; কারণ এটা উচ্চ তাপ সহ্য করতে পারে এবং ক্রিস্টালাইজ হয় না। যদি সস্তা গ্লাস বা নিম্ন-মানের কোয়ার্টজ ব্যবহার করা হয়, তাহলে গরম/ঠান্ডা হওয়ার সময় টিউবগুলো থেকে ধূলিকণা বেরিয়ে আসে। আমরা এটা চাই না।
আমাদের টিউবগুলো সমতল থাকে। যেহেতু আইআর বিকিরণ সরাসরি ওয়েফারের উপর পড়ে, তাই কোনো মধ্যবর্তী উপাদান নেই যা ওয়েফারের পৃষ্ঠে অশুদ্ধি ছড়াতে পারে।
সেমিকন্ডাক্টর টুলগুলোর সাথে সামঞ্জস্য
সেমিকন্ডাক্টর টুলগুলো খুবই সংকীর্ণ জায়গায় থাকে। আমরা জানি। তাই আমরা ফিলামেন্টের গঠন এমনভাবে করেছি যাতে তাপ সমানভাবে ওয়েফারে পড়ে। কোনো অস্বাভাবিক তাপ-ব্যবধান নেই; আর সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ বিষয় হলো, বেকিং/কিউরিং প্রক্রিয়ার সময় ওয়েফারটি বিকৃত হয় না।
আমরা এন্ড-ক্যাপ সিলগুলো নিয়েও খুব মনযোগী। আমরা নিশ্চিত করি যে অভ্যন্তরীণ হ্যালোজেন গ্যাসটি ল্যাম্পের ভিতরেই থাকে, বাইরে নয়।
কিন্তু সমস্যা হলো, এই সিলগুলো খুবই শক্তভাবে বন্ধ থাকে। যদি একটি সিল নষ্ট হয়ে যায়, তাহলে ল্যাম্পটি দ্রুত নষ্ট হয়ে যায়। এটা একটি সমঝোতা। আমরা চাই ল্যাম্পটি দ্রুত নষ্ট হোক, কিন্তু ক্লিনরুমটি নষ্ট না হোক। তাই আপনাকে এগুলো নিয়ে খুব সাবধান থাকতে হবে। কোয়ার্টজের উপর অতিরিক্ত চাপ না দেওয়াই গুরুত্বপূর্ণ।
ল্যাম্পগুলো ব্যবহার করার পদ্ধতি
এগুলোকে আপনার বিদ্যমান PID কন্ট্রোলারে সংযুক্ত করা খুবই সহজ। যেহেতু কোয়ার্টজ দীর্ঘক্ষণ তাপ ধরে রাখতে পারে না, তাই এই ল্যাম্পগুলো দ্রুত গরম/ঠান্ডা হয়ে যায়। এতে ওয়েফারের তাপ-নিয়ন্ত্রণ আরও ভালো হয়।
যখন ল্যাম্পটি তার সীমায় পৌঁছায়, তখন আপনি সেটিকে প্রতিস্থাপন করলেই হয়। এটা খুবই সহজ। আপনার টেকনিশিয়ানদের জন্য একটি পরামর্শ: ল্যাম্পটি ব্যবহার করার আগে টিউবটিকে পরিষ্কার করুন। এতেই সব ঠিক থাকবে।