کلین روم میں کاربن کی مقدار کو کم کرنا: ویفروں کو گرم کرنے کا ایک بہتر طریقہ
سیمی کنڈکٹرز کی تیاری کے عمل کے بارے میں سچ یہ ہے کہ یہ عمل بہت زیادہ توانائی کا استعمال کرتا ہے۔ زیادہ تر صورتوں میں، ہم رزسٹیو ہیٹنگ کا استعمال کرتے ہیں؛ یعنی پورے چیمبر کو گرم کیا جاتا ہے تاکہ ویفر مناسب درجہ حرارت تک پہنچ سکے۔ یہ بہت ضیاع ہے… یہ تو ایسے ہی ہے جیسے پورے گھر کو گرم کیا جائے صرف اس لئے کہ ایک پیزا کو گرم کیا جائے۔
یہیں سے ویکیوم-کمپیٹیبل انفراریڈ (IR) ہیٹنگ کا کردار شروع ہوتا ہے۔ ہم ہوا کو گرم کرنے کے بجائے، حرارت کو براہِ راست ویفر پر ڈالتے ہیں۔ یہ ایک بہتر طریقہ ہے؛ اس سے فیکٹری کے کاربن فوٹ پرنٹ میں کمی واقع ہوتی ہے۔
اس کی فزکس
جب آپ ویکیوم میں کام کرتے ہیں، تو آپ کنویکشن پر انحصار نہیں کر سکتے… آپ کے پاس صرف ریڈییشن اور کنڈکشن ہی رہ جاتے ہیں۔ ہم نے اپنے IR لیمپوں کو ایسے ڈیزائن کیا ہے کہ وہ شارٹ-ویو ریڈییشن پیدا کریں، جو سیدھے مواد کے اندر جاتا ہے۔
نتیجہ؟ آپ اپنے مطلوبہ درجہ حرارت تک جلدی پہنچ جاتے ہیں… آپ کی مشینیں کم وقت میں ہی کام کرنا شروع کر دیتی ہیں۔ اس کے علاوہ، چونکہ یہ لیمپ بہت زیادہ توانائی استعمال کرتے ہیں، اس لئے پورا سسٹم چھوٹا ہی رہتا ہے… آپ کو تمام ضروری توانائی مل جاتی ہے، بغیر بڑے سائز کے ہارڈویئر کے۔
زیادہ سبز فیکٹری بنانا
اگر آپ کاربن نیوٹرالٹی حاصل کرنا چاہتے ہیں، تو آپ کو ان “بےکار توانائیوں” کو ختم کرنا ہوگا… یعنی اس توانائی کو جو بےفائدہ ہی ضائع ہو جاتی ہے۔
IR ہیٹنگ تو فوری ہی کام کرتی ہے… آپ کو گھنٹوں تک اوون کو پہلے سے گرم کرنے کی ضرورت نہیں ہے… آپ صرف سوئچ کو آن کریں، اور چند سیکنڈوں میں ہی مطلوبہ درجہ حرارت حاصل ہو جاتا ہے۔
ہم خاص قسم کے کوارٹز اور ہیلوجن فلامنٹس کا استعمال کرتے ہیں، تاکہ توانائی بالکل درست جگہ پر پہنچ سکے… توانائی ویفر میں ہی جاتی ہے، چیمبر کی دیواروں میں نہیں… یہ بالکل منطقی ہے۔
مشکلات اور ان کا حل
لیکن ایک مشکل یہ ہے کہ اعلیٰ شدت والے IR لیمپوں سے لیمپوں کے سرے بہت گرم ہو جاتے ہیں… اگر آپ وقت بچانے کے لئے اعلیٰ واٹیج والے لیمپ استعمال کرتے ہیں، تو آپ کو واٹر-کولنگ سسٹم پر ضرور توجہ دینی ہوگی۔
اگر یہ کنکٹرز بہت گرم ہو جائیں، تو فلامنٹس جل جاتے ہیں… یہ ایک آسان مسئلہ ہے، لیکن اسے درست کرنا ضروری ہے۔
آخر میں، IR ہیٹنگ کا استعمال کرنے سے ہر ویفر کے لئے استعمال ہونے والی کل توانائی کم ہو جاتی ہے… یہ ایک بہترین طریقہ ہے، جس سے آپ اپنے کلین روم کو زیادہ سبز بنا سکتے ہیں، بغیر پیداواری رفتار کو کم کئے۔