آئی آر کے ذریعہ سیمی-فاب روٹرز کی صفائی
ایمانداری سے کہا جائے تو، سیمی کنڈکٹرز کی تیاری میں حرارت کا مسئلہ بہت سنگین ہے۔ لمبے عرصے سے ہم رزسٹیو ہیٹنگ کا استعمال کرتے آئے ہیں؛ یعنی پورے کچن کو گرم کرکے ایک ٹوسٹ کو گرم کرنے کی کوشش کرنا۔ یہ تو بالکل بیکار توانائی کا استعمال ہے۔
ہمیں ایک بہتر طریقہ ملا ہے۔ شارٹ ویو آئی آر لیمپوں کے ذریعہ، ہم حرارت کو بالکل اس جگہ پہنچا سکتے ہیں جہاں اس کی ضرورت ہے، یعنی ویفر پر۔ اب مزید فضا کو گرم کرنے کی ضرورت نہیں ہے۔ یہ تو ایک چھوٹی سی تبدیلی ہے، لیکن اس سے کلین روم کے کاربن فٹ پرنٹ میں بہت فرق پڑتا ہے۔
شارٹ ویو آئی آر کیوں کام کرتا ہے؟
راز یہ ہے کہ شارٹ ویو آئی آر (0.7 سے 2.5 مائکرومیٹر کی حد میں) بہت تیزی سے مواد میں داخل ہوتا ہے۔ یہ لمبی لہروں والی حرارت کے مقابلے میں بہت تیز ہے۔ اس کی وجہ سے درجہ حرارت فوراً بڑھ جاتا ہے۔ اور چونکہ یہ ریڈیئنٹ حرارت ہے، اس لیے ہمیں اپنے HVAC سسٹم کے خلاف لڑنے کی ضرورت نہیں ہے۔ ہمارے کولنگ یونٹوں کو زیادہ کام کرنے کی ضرورت نہیں ہے، جس سے بجلی کے بل میں بھی کمی آتی ہے۔
ہارڈویئر کی تفصیلات
ہم ان ڈیوائسوں کو کوارٹز کے خولوں اور ہیلوجن سرکٹس کے ذریعہ بناتے ہیں، تاکہ فلامنٹس زیادہ عرصے تک کام کر سکیں۔ اگر آپ 300 ملی میٹر کے ویفرز کی تیاری کر رہے ہیں، تو اس کا تعلق پاور ڈینسٹی سے ہے۔ ہم اعلیٰ واٹیج والے ٹیوبوں کا استعمال کرتے ہیں تاکہ حرارتی چکر تیز رفتاری سے چل سکیں۔ اس کے علاوہ، ہم معیاری کنیکٹرز کا استعمال کرتے ہیں، تاکہ پرانے رزسٹیو ہیٹرز کو بدلنے میں کوئی پریشانی نہ ہو۔
لیکن یہ کوئی جادو نہیں ہے… اس میں کچھ مشکلات بھی ہیں۔
چونکہ یہ لیمپ بہت تیز ہیں، اس لیے یہ بہت زیادہ حرارت پیدا کرتے ہیں۔ اگر PID کنٹرولرز یا سینسرز درست کام نہ کریں، تو آپ کا ویفر خراب ہو سکتا ہے۔ آپ کو یہ بھی یقینی بنانا ہوگا کہ آپ کے کولنگ سسٹم مناسب طریقے سے کام کر رہے ہیں… آپ نہیں چاہیں گے کہ ریڈیئنٹ حرارت مشین کے ڈھانچے کو گرم کر دے۔
فیکٹری کے لیے فائدے
بہترین بات یہ ہے کہ اب آپ ان لامحدود “وارم اپ” مراحل میں توانائی کا ضیاع نہیں کریں گے۔
ہر یونٹ سے حاصل ہونے والی بجلی کی مقدار فوراً کم ہو جاتی ہے۔ یہ ایک ایسا طریقہ ہے جس سے آپ بغیر پورے پروسیس کو دوبارہ ڈیزائن کیے ہی سبز اہداف حاصل کر سکتے ہیں۔ آپ زیادہ ویفرز کو تیز رفتاری سے تیار کر سکتے ہیں، اور کم فضلہ بھی پیدا ہوگا۔
یہ ایک ایسی کامیابی ہے، جس میں CFO اور فیکٹری انجینئر دونوں ایک ہی صفحے پر ہیں۔