На площадці для обробки кристалів камера для видалення фоторезисту залишається неробочою, поки не досягне потрібної температури. Якщо нагрівач починає давати збої, залишаються сліди, і наступний шар не прилипає належним чином. Необхіден контроль температури, який дозволяє підтримувати постійну температуру під час кожної процедури обробки.
Що насправді має значення
Ми створили нагрівач для видалення фоторезисту на основі кварцових емітерів короткохвильового інфрачервоного випромінювання. Вони швидко реагують, що дозволяє точно контролювати температуру. Унітет забезпечує однорідність температури на рівні ±0,1°C, тож процес обробки проходить правильно в усьому просторі камери. Пристрій може працювати в умовах чистої кімнати класу 1–100. Ми також перевіряємо відсутність частинок під час роботи пристрою. У практичному використанні пристрій працює безперервно протягом 24/7 – термін служби становить понад 5 000 годин, а відхилення температури становить менше 5%. Пристрій працює при напрузі 208–240 В, має компактні розміри, що дозволяє його використовувати для модернізації обладнання. Також є стандартні інтерфейси для підключення до камери.
Чому це важливо під час процесу обробки
Видалення фоторезисту є процесом, який залежить від температури. Коли нагрівач швидко стабілізується, скорочується час очікування між процедурами обробки, а також зменшується кількість відходів через неправильну температуру обробки. Однорідність температури дозволяє точно контролювати розміри кристалів після літографії, що дозволяє використовувати менше хімікатів. Це призводить до коротшого часу обробки, меншої кількості відходів та економії енергії.
На що потрібно звернути увагу під час встановлення
Необхідно переконатися, що фланці камери підходять один до одного, а емітери правильно розташовані відносно траєкторії руху кристалів. Кварцові емітери швидко нагріваються, але цю зону необхідно належним чином захистити, щоб не пошкодити полімерні ущільнювачі. При зміні рецептури необхідно провести корекцію параметрів нагрівача, а також переконатися, що пристрій підходить для використання в умовах чистої кімнати. Ми надсилаємо креслення інтерфейсів заздалегідь, щоб уникнути проблем під час інтеграції.