
Temiz odalarda karbon emisyonlarını azaltmak: Su geçirmez kızılötesi ısıtıcıların neden işe yaradığı
Yarı iletkenlerin yıkanma süreçleri konusunda dürüst olalım: Bu süreçler oldukça enerji tüketen işlemlerdir. Uzun süre boyunca, bir wafer’ın kurutulması için büyük miktarda havanın ısıtılmasının “standart yöntem” olduğunu kabul ettik. Ancak bu, yüzeyden sadece birkaç damla suyu uzaklaştırmak için gereğinden fazla enerji tüketmek anlamına geliyor.
Daha iyi bir çözüm bulduk: Su geçirmez kızılötesi lambalar.
Havayı ısıtmayı bırakın
Kızılötesi lambaların avantajı, odadaki havayla ilgilenmemesidir. Buna gerek yoktur; bunun yerine enerjiyi doğrudan wafer yüzeyine yönlendirirler. Bu, çok daha akıllıca bir yöntemdir. Tüm odayı ısıtmak için binlerce watt enerji harcamak yerine, sadece hedefe odaklanırsınız. Isıyı bu şekilde odakladığınızda enerji tüketiminiz azalır. Eğer “yeşil bir fabrika” kurmak istiyorsanız, bu, karbon ayak izinizi azaltmak için en kolay yollardan biridir.
Sıvı sıçramalarına karşı dayanıklı
Genellikle yüksek sıcaklıkta çalışan lambaları yıkama aşamasında kullanmak felaket getirir. Yüksek nem ve sıvı sıçramaları, kvaartz tüplerin zarar görmesine veya kısa devrelerin meydana gelmesine neden olur. Biz bunu, lambaları özel su geçirmez kaplamalar ve nem dirençli kapaklarla koruyarak çözdük. Böylece su, elektrotlardan uzak tutulur. Bu sayede lamba, ıslak ortamlarda bile çalışmaya devam edebilir ve her birkaç haftada bir bozulmaz.
Bir dezavantaj var…
Bunun sihirli bir çözüm olduğunu söylemeyeceğim. Yüksek yoğunluklu kızılötesi ışınlar kullanmak, soğutma sistemlerinin yeniden düşünülmesini gerektirir. Isı çok yoğun olduğundan waferlar inanılmaz hızlı kurur; ancak bu yoğun ısı, çevredeki sensörleri veya plastik parçaları hasara uğratabilir. Ortam sıcaklığını kontrol altında tutabilmek için soğutma fanlarını veya ısı dağıtıcılarını güçlendirmeniz gerekebilir. Bu küçük bir değişiklik olsa da gerekli olan bir değişikliktir.
İş akışınız için sonuç ne?
Sonuç olarak, işlem süreleri kısalar. Waferlar daha hızlı kuruduğu için daha fazla wafer işlenebilir. Her birim başına daha az elektrik tüketilir ve işlemler daha kısa sürede tamamlanır. İşte böylece wafer başına düşen karbon miktarı olumlu yönde değişmeye başlar. Sadece sıcaklığı kontrol altında tutmak için bir PID kontrol cihazı kullanın; böylece sürdürülebilirlik hedeflerine ulaşmış olursunuz. Çok basit.