Сокращение выбросов углерода в чистых помещениях: более эффективный способ нагрева пластин
Давайте будем честными относительно производства полупроводников: это процесс, требующий огромного количества энергии. Обычно мы используем метод резистивного нагрева, при котором нагревается вся камера, чтобы довести температуру пластины до необходимого уровня. Это расточительно – это как нагревать всю квартиру лишь для того, чтобы подогреть один кусочек пиццы.
Вот здесь и приходит на помощь инфракрасный нагрев, совместимый с условиями вакуума. Вместо нагрева воздуха мы направляем тепло непосредственно на пластину. Это более эффективный способ, который позволяет снизить углеродный след завода.
Физика процесса
Когда вы работаете в вакууме, нельзя полагаться на конвекцию. Остаются только излучение и теплопроводность. Мы разработали инфракрасные лампы, которые излучают коротковолновое излучение, проникающее глубоко в материал.
Результат? Температура достигается гораздо быстрее. Устройства тратят меньше времени на простой и больше времени на производство. К тому же, благодаря высокой мощности этих ламп, весь устройство становится меньше по размеру. Вы получаете все необходимую мощность без использования громоздкого оборудования.
Создание экологичного завода
Если вы хотите достичь углеродной нейтральности, необходимо устранить те «утечки» энергии, которые происходят во время ожидания, пока все будет готово.
Инфракрасный нагрев работает практически мгновенно. Не нужно тратить часы на предварительный нагрев – достаточно включить устройство, и через несколько секунд оно уже будет работать в рабочем режиме.
Мы используем специальные кварцевые оболочки и галогенные нитьки, чтобы энергия попадала именно в те участки материала, которые её поглощают. Энергия поступает в саму пластину, а не в стены камеры. Это логично.
Недостатки и способы их преодоления
Есть один недостаток: высокая интенсивность инфракрасного излучения приводит к значительному нагреву концов ламп. Если вы хотите сократить время работы оборудования, необходимо обеспечить эффективную систему охлаждения.
Если соединители слишком нагреваются, нитьки могут сгореть. Это простая проблема, но её необходимо решить правильно.
В конце концов, переход на инфракрасный нагрев позволяет снизить общее количество киловатт-часов, потребляемых на производство одной пластины. Это простой способ сделать чистые помещения более экологичными, не снижая при этом скорость производства.