Por que estamos passando para o uso de radiação infravermelha para secar os waferes
Vamos falar sobre o processo de secagem dos waferes. Por muito tempo, contamos apenas com o método de convecção – basicamente, aquecendo um grande volume de ar, na esperança de que o wafer seque. Mas isso é como aquecer toda a casa só para aquecer uma fatia de pizza.
É por isso que passamos a usar radiação infravermelha. Em vez de lidar com o ar, as lâmpadas de infravermelho emitem calor diretamente sobre a superfície do wafer. Isso é mais eficiente, rápido e faz parte importante dos nossos esforços para alcançar objetivos relacionados à energia sustentável e reduzir o uso de chumbo.
Pare de desperdiçar energia
Pense em um forno tradicional a ar quente: você gasta muita energia apenas para aquecer as paredes e o espaço vazio dentro do forno. É um desperdício.
A radiação infravermelha evita isso. A energia é direcionada diretamente para a superfície do wafer. A diferença de velocidade é enorme: em vez de esperar horas para que o wafer fique pronto, ele fica pronto em segundos. Ao diminuir esse tempo de aquecimento, sua conta de luz também diminui, pois não há necessidade de gastar muita energia para manter o ambiente quente.
Lidando com situações complexas
Se você trabalha com soldas sem chumbo ou resinas ecológicas, sabe que esses materiais são sensíveis. Se o calor não estiver no nível certo, o wafer pode se deformar.
Com a radiação infravermelha, podemos ajustar o comprimento de onda da radiação – alternando entre ondas curtas e médias – para corresponder ao tipo de revestimento químico que estamos utilizando. Além disso, como não há combustão nem solventes nocivos, isso representa uma solução ideal para cumprir as normas ambientais. Sem emissões, sem elementos à base de chumbo. Apenas calor puro.
O lado negativo (pois sempre há um)
Claro, não é tudo perfeito. A densidade de calor é extremamente alta, o que significa que as coisas acontecem muito rapidamente. Se o controlador PID não estiver bem ajustado, você pode ultrapassar a temperatura desejada antes mesmo de perceber. Um erro pode danificar o wafer. Portanto, são necessários sensores de alta precisão para controlar a temperatura com precisão.
Projetamos esses sistemas para substituir os sistemas de convecção antigos. Assim, você ganha mais espaço e uma conta de luz menor. Só uma dica: certifique-se de que seus ventiladores de refrigeração consigam lidar com o aumento de temperatura ao redor da lâmpada, caso contrário, o local ficará muito quente.