Mantendo sua sala limpa de nível 100 realmente limpa
No mundo da fabricação de wafers, até mesmo uma única partícula de poeira é um problema grave – ela pode destruir todo um lote de chips. Isso é estressante. A maioria dos elementos de aquecimento representa um grande desafio nesses ambientes, pois eles tendem a liberar gases ou partículas exatamente quando não se deseja que isso aconteça.
É por isso que utilizamos lâmpadas de quartzo sintético de alta pureza. Elas simplesmente não causam esse tipo de problema.
O segredo do quartzo
Usamos sílica fundida, que consegue suportar o calor sem cristalizar. Se você usar vidro barato ou quartzo de baixa qualidade, os tubos começarão a se desintegrar ou a soltar partículas à medida que esquentam e esfriam. Isso é inaceitável.
Nossos tubos permanecem lisos. Como a radiação infravermelha atinge diretamente o substrato, não há intermediários que possam introduzir impurezas na superfície do wafer.
Integração com as ferramentas
As ferramentas de semicondutores são espaçosas. Sabemos disso. Por isso, ajustamos a geometria dos filamentos para garantir que o calor seja distribuído uniformemente pelo wafer. Sem pontos quentes, sem gradientes estranhos… e, o mais importante, sem deformações durante o processo de cozimento ou cura.
Também nos preocupamos muito com os selos das extremidades dos tubos. Certificamo-nos de que o gás halógeno fique dentro da lâmpada, evitando vazamentos.
Mas há um detalhe importante: esses selos são muito rigorosos. Se um deles falhar, a lâmpada se queima rapidamente. É um compromisso necessário. Preferimos que a lâmpada se queime rapidamente a permitir que um vazamento estrague sua sala limpa. Por isso, é preciso ter cuidado ao manipulá-las. Um alinhamento preciso é fundamental para evitar sobrecarregar o quartzo.
Funcionamento das lâmpadas
É fácil conectar essas lâmpadas aos controladores PID existentes. Como o quartzo não retém o calor por muito tempo, essas lâmpadas aquecem e esfriam rapidamente. Isso permite maior controle sobre o calor aplicado ao wafer.
Quando uma lâmpada atinge seu limite, basta substituí-la. É uma substituição simples. Uma dica para seus técnicos: use panos limpos e álcool isopropílico para limpar o tubo antes de instalá-lo. Mantenha-o impecável, e tudo ficará bem.