Stop de glasfragmenten: houd je wafers schoon wanneer infraroodlampen falen
Als je ooit een infraroodlamp hebt gezien die binnenin een hoogbelaste glovebox explodeerde, weet je dat het een nachtmerrie is. Het gaat niet alleen om het stoppen van de machine. Het gaat ook om de rommel.
Eén gebroken kwartslamp zorgt ervoor dat er glasfragmenten en chemische vuilresten overal terechtkomen. Plotseling zijn je wafers verwoest, en moet je de hele ruimte grondig schoonmaken – waardoor je productiviteit dagenlang onder druk komt te staan.
Waarom breken deze lampen eigenlijk?
Meestal komt het door thermische spanningen. Deze lampen gaan door snelle opwarm- en afkoelscycli heen, waardoor het materiaal beschadigt raakt. Of er treedt een te hoge spanning op, die de lamp niet aankan.
We lossen dit op door gebruik te maken van synthetisch kwarts van hoge zuiverheid. Dit materiaal kan beter tegen zulke belastingen. Maar het echte geheim zit in het passende materiaal. Als je een lamp met een hoge vermogenssterkte plaatst in een ruimte waar geen ventilatie mogelijk is, ontstaan er ‘hot spots’ op de filamenten. Dat is net alsof je een motor overbelast – de lamp zal dan veel eerder kapotgaan dan nodig is.
Een veiligheidsnetwerk bouwen
We verwachten niet zomaar dat de lamp niet zal breken; we bereiden ons voor op wat er gebeurt als dat wel gebeurt.
We gebruiken versterkte eindkapjes en speciale coatings om te voorkomen dat het glas naar buiten spat. Als een filament breekt, vangt de behuizing de brokstukken op. Hierdoor blijft de rommel beperkt tot de behuizing, zodat deze niet op je producten terechtkomt.
En hier is nog een klein detail dat belangrijk is: de connectoren. We gebruiken industriële R7- of SK15-connectoren. Waarom? Omdat losse connecties kunnen leiden tot bliksemflitsen. In een glovebox zorgen diese flitsen vaak ervoor dat de lamp uiteenvalt. Stevige connecties voorkomen onverwachte problemen.
De afweging die je moet kennen
Kortegolfig infraroodlicht is uitstekend: het veroorzaakt snel veel hitte, waardoor je wafers snel verder kunnen worden bewerkt.
Maar deze intensiteit heeft ook nadelen. Er wordt veel druk uitgeoefend op het koelsysteem van de glovebox. Als de luchtstroming deze hitte niet kan wegnemen, wordt de lamp in feite ‘gekookt’.
Om alles soepel te laten werken, moet je de elektroden regelmatig controleren. Controleer ze op oxidatie elke 2.000 uur. Het is een snelle controle, maar het is de beste manier om problemen te voorkomen op het moment dat je het het minst verwacht.