Mengurangkan penggunaan karbon di bilik bersih: Cara yang lebih efisien untuk memanaskan wafer
Mari kita jujur tentang proses pembuatan semikonduktor: ia merupakan proses yang sangat memerlukan tenaga yang banyak. Kebanyakan masa, kita menggunakan kaedah pemanasan resistif, iaitu dengan memanaskan seluruh bilik tersebut agar wafer mencapai suhu yang ditetapkan. Ini merupakan cara yang membazir tenaga. Ia sama seperti memanaskan seluruh rumah hanya untuk memanaskan sekeping pizza sahaja.
Di sinilah fungsi pemanasan inframerah yang sesuai untuk digunakan dalam keadaan vakum. Daripada memanaskan udara, kita langsung memanaskan wafer itu sendiri. Ini merupakan cara yang lebih efisien, dan juga dapat mengurangkan jejak karbon kilang tersebut.
Fizik di sebaliknya
Dalam keadaan vakum, kita tidak boleh bergantung pada proses konveksi. Kita hanya boleh menggunakan radiasi dan konduksi untuk memanaskan objek. Kami telah merancang lampu inframerah agar ia mengeluarkan radiasi gelombang pendek yang dapat menembusi bahan substrat tersebut.
Hasilnya? Suhu yang diinginkan dapat dicapai dengan lebih cepat. Mesin-mesin tidak perlu berada dalam keadaan “idle” untuk waktu yang lama, sebaliknya ia boleh terus beroperasi. Selain itu, kerana lampu ini memiliki kuasa yang tinggi, ukuran keseluruhan sistem menjadi lebih kecil. Anda mendapat tenaga yang diperlukan tanpa perlu menggunakan peralatan yang besar.
Membina kilang yang lebih mesra alam
Jika anda ingin mencapai keadaan neutral karbon, anda perlu mengurangkan penggunaan tenaga yang sia-sia. IR merupakan penyelesaian yang sangat efektif. Anda tidak perlu menghabiskan masa berjam-jam untuk memanaskan mesin; cukup hidupkan suisnya, dan mesin akan beroperasi dalam beberapa saat sahaja.
Kami menggunakan selubung kuarsa dan filamen halogen untuk memastikan tenaga tersebut sampai tepat ke bahan yang ingin dipanaskan. Tenaga tersebut masuk ke dalam wafer, bukan ke dinding bilik tersebut. Ini merupakan cara yang logik.
Cabaran dan cara mengatasinya
Namun, ada cabaran yang perlu dihadapi. Pemanasan inframerah yang kuat akan menghasilkan haba yang banyak di hujung lampu tersebut. Jika anda menggunakan sistem berkuasa tinggi untuk mempercepatkan proses, anda perlu memastikan sistem penyejukan berfungsi dengan baik. Jika koneksi tersebut terlalu panas, filamen akan terbakar lebih awal. Ini merupakan masalah yang mudah diselesaikan, tetapi perlu dilakukan dengan betul.
Pada akhirnya, menggunakan pemanasan inframerah dapat mengurangkan jumlah tenaga yang digunakan per wafer. Ini merupakan cara yang mudah untuk menjadikan bilik bersih anda lebih mesra alam, tanpa mengurangkan kelajuan pengeluaran.