Membersihkan Haba Sementara Menggunakan Cahaya Inframerah
Sejujurnya, proses pengeluaran semikonduktor memerlukan penggunaan haba yang banyak. Untuk waktu yang lama, kita bergantung pada kaedah pemanasan secara resistif, iaitu dengan memanaskan seluruh ruang dapur hanya untuk memanaskan sekeping roti bakar. Ini merupakan pembaziran tenaga yang besar.
Kita telah menemukan cara yang lebih baik. Dengan menggunakan lampu inframerah gelombang pendek, kita dapat mengarahkan haba tersebut tepat ke tempat yang diperlukan, iaitu ke wafer tersebut. Tidak perlu lagi memanaskan udara di sekelilingnya. Ini merupakan perubahan yang mudah, namun ia dapat mengurangkan jejak karbon di bilik kawalan tersebut.
Mengapa Cahaya Inframerah Gelombang Pendek Berkesan
Rahsianya adalah cahaya inframerah gelombang pendek (dalam julat 0.7 hingga 2.5 μm) berfungsi dengan sangat efektif. Ia dapat menembusi bahan tersebut dengan cepat, jauh lebih cepat daripada haba gelombang panjang yang biasa digunakan. Proses pemanasan berlaku dengan sangat cepat. Dan kerana ia merupakan haba radiasi, sistem HVAC tidak perlu bekerja keras untuk menghilangkan haba berlebihan dari bilik tersebut. Ini bermakna bil elektrik dapat dikurangkan.
Komponen-Komponen Penting
Kita membina peralatan ini menggunakan pembungkus kuarsa dan sistem halogen agar filamen dapat bertahan lama. Jika anda menggunakan lini pengeluaran wafer berukuran 300 mm, segalanya bergantung pada kepadatan tenaga yang digunakan. Kita menggunakan tiub berkuasa tinggi untuk memastikan proses pemanasan berlaku dengan cepat. Selain itu, kita juga menggunakan sambungan standard, supaya penggantian pemanas lama menjadi mudah.
Namun, ini bukanlah penyelesaian ajaib. Ada beberapa kelemahan. Kerana lampu ini sangat intensif, ia akan menghasilkan haba yang banyak di kawasan tertentu. Jika pengawal PID atau sensor tidak berfungsi dengan baik, ia boleh merosakkan substrat tersebut. Anda juga perlu memastikan sistem penyejukan berfungsi dengan baik. Anda tidak mahu haba radiasi tersebut memanaskan badan mesin.
Kesimpulan untuk Kilang
Yang terbaiknya ialah anda tidak perlu membuang tenaga semasa proses pemanasan yang berlarutan. Penggunaan tenaga per unit akan berkurangan dengan serta-merta. Ini merupakan cara yang efektif untuk mencapai sasaran kelestarian alam tanpa perlu mengubah keseluruhan proses pengeluaran. Anda dapat menghasilkan lebih banyak wafer dengan lebih cepat, dan dengan pembaziran yang lebih sedikit.
Ini merupakan situasi di mana CFO dan jurutera kilang benar-benar sehaluan.